[發(fā)明專利]光罩的夾持裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110414347.0
• 申請(qǐng)日: 2021-04-16
• 公開（公告）號(hào): CN113126419A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙晴晴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/00
• 分類號(hào): G03F1/00;G03F1/66
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 周修文

1.一種光罩的夾持裝置，其特征在于，所述光罩的夾持裝置包括：

夾持組件與框體，所述夾持組件設(shè)置于所述框體上，所述夾持組件用于夾住光罩的側(cè)邊，所述框體的其中一框邊的中部部位上設(shè)有連接部；

手柄，所述手柄與所述連接部轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述手柄上設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述連接部相連，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述連接部轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述手柄設(shè)有中空室，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)軸、第一錐齒輪、第二驅(qū)動(dòng)軸、第二錐齒輪與第一驅(qū)動(dòng)齒輪；所述第一驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述手柄上，所述第一錐齒輪同軸地固定設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)軸上、并位于所述中空室；所述第二驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述手柄上，所述第二驅(qū)動(dòng)軸與所述連接部同軸相連；所述第二錐齒輪同軸地固定設(shè)置于所述第二驅(qū)動(dòng)軸上、并位于所述中空室，所述第二錐齒輪與所述第一錐齒輪相嚙合；所述第一驅(qū)動(dòng)齒輪同軸固定地設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)軸上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二驅(qū)動(dòng)軸與撥動(dòng)輪；所述第二驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述手柄上，所述第二驅(qū)動(dòng)軸與所述連接部同軸相連；所述撥動(dòng)輪同軸地固定設(shè)置于所述第二驅(qū)動(dòng)軸上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述手柄設(shè)有中空室，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述中空室中的微型電機(jī)，所述微型電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述連接部同軸固定相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述手柄上的控制元件，所述控制元件與所述微型電機(jī)電性連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述控制元件為開關(guān)按鈕或觸控屏。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述連接部設(shè)有導(dǎo)向桿；所述手柄上設(shè)有與所述連接部同軸設(shè)置的插槽；所述導(dǎo)向桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述插槽中，所述導(dǎo)向桿的外壁上螺旋地設(shè)置有導(dǎo)向槽；所述手柄上設(shè)有與所述插槽相連通的活動(dòng)口；所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括沿著所述活動(dòng)口移動(dòng)設(shè)置的撥動(dòng)件，所述撥動(dòng)件的一端活動(dòng)地設(shè)置于所述導(dǎo)向槽中，所述撥動(dòng)件的另一端位于所述手柄的外壁面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述夾持組件為至少兩個(gè)；至少兩個(gè)所述夾持組件間隔地設(shè)置于所述框體上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述夾持組件包括推拉桿、設(shè)置于所述推拉桿的外壁上的卡接件、以及與所述推拉桿的端部相連的夾持部；所述推拉桿可移動(dòng)地設(shè)置于所述框邊中部部位上，所述框邊中部部位上設(shè)有與所述卡接件相應(yīng)的卡接孔；當(dāng)所述夾持部夾持所述光罩的側(cè)邊時(shí)，所述卡接件卡接固定于所述卡接孔中。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述夾持組件為兩個(gè)，兩個(gè)所述夾持組件一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述框體的兩個(gè)相對(duì)框邊中部部位；所述推拉桿包括外套體以及套設(shè)于所述外套體內(nèi)部的內(nèi)軸體，所述外套體的內(nèi)壁上設(shè)有花鍵軸，所述內(nèi)軸體的外壁上設(shè)有與所述花鍵軸相適應(yīng)的花鍵槽，所述花鍵軸沿著所述內(nèi)軸體的軸向方向可移動(dòng)地設(shè)置于所述花鍵槽中；所述外套體的外壁與所述卡接件相連，所述內(nèi)軸體的端部與所述夾持部相連；所述外套體靠近于所述夾持部的端部內(nèi)壁上設(shè)有第一抵觸部，所述內(nèi)軸體的外壁上設(shè)有與所述第一抵觸部抵觸配合的第二抵觸部，所述第一抵觸部用于帶動(dòng)所述第二抵觸部朝向遠(yuǎn)離于所述光罩的方向移動(dòng)；每個(gè)所述框邊中部部位上設(shè)置的所述卡接孔為至少兩個(gè)，至少兩個(gè)所述卡接孔分布于所述推拉桿的兩側(cè)，所述卡接件能卡接固定于任意一個(gè)所述卡接孔中。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光罩的夾持裝置，其特征在于，所述推拉桿上遠(yuǎn)離于所述夾持部的一端上設(shè)有扭動(dòng)塊。