[發明專利]一種列陣波導全固態激光器

在審

• 申請號: 202110412830.5
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113067251A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發明（設計）人: 梁萬國;馮新凱;陳懷熹;張新彬;李廣偉;古克義;黃玉寶
• 申請（專利權）人: 福建中科晶創光電科技有限公司
• 主分類號: H01S5/22
• 分類號: H01S5/22;H01S5/14
• 代理公司: 福州科揚專利事務所(普通合伙) 35001
• 代理人: 郭夢羽

本發明涉及一種列陣波導全固態激光器，包括激光二極管巴條,激光二極管巴條包括若干出光點；沿激光二極管巴條出光方向依次設置有第一腔鏡陣列、第一波導陣列、第二波導陣列、第二腔鏡陣列和整形模塊；第一波導陣列和第二波導陣列均包含若干脊形的波導；第一波導陣列的每個波導對應激光二極管巴條的每個出光點設置；第二波導陣列的每個波導對應第一波導陣列的每個波導設置；激光二極管巴條、第一腔鏡陣列、第一波導陣列、第二波導陣列、第二腔鏡陣列和整形模塊均固定在熱沉上。本發明通過脊形的波導對激光在橫向和垂直方向進行限制，減少激光的損耗；通過不同的腔鏡結構和組合方式達到節省空間、降低生產難度和提高激光光源穩定性等優點。

技術領域

本發明涉及一種列陣波導全固態激光器，屬于激光器技術領域。

背景技術

激光是20世紀以來,人類的又一重大發明,它一出現就引起人們的廣泛關注。固體激光器具有體積小，使用方便，輸出功率大等優點，在顯示、軍事、加工、醫療和科研領域具有巨大的用途。隨著半導體激光器的出現，激光器的成本越來越被人們所關注，低成本高功率激光器成為一個趨勢。專利CN209823100U公布了一種全固態列陣激光器。缺點在于激光在列陣中傳播時，容易在橫向和垂直方向發散，損耗較大。同時外置腔鏡使得激光器體積較大，且安裝困難，提高了生產成本。

發明內容

為了克服上述問題，本發明提供一種列陣波導全固態激光器，該激光器通過脊形的波導對激光在橫向和垂直方向進行限制，減少了激光的損耗；通過不同的腔鏡設置和組合方式分別達到節省空間、降低生產難度和提高激光光源穩定性等優點。

本發明的技術方案如下：

一種列陣波導全固態激光器，包括激光二極管巴條,所述激光二極管巴條包括若干出光點；沿所述激光二極管巴條出光方向依次設置有第一腔鏡陣列、第一波導陣列、第二波導陣列、第二腔鏡陣列和整形模塊；所述第一波導陣列和所述第二波導陣列均包含若干脊形的波導；所述第一波導陣列的每個波導對應所述激光二極管巴條的每個出光點設置；所述第二波導陣列的每個波導對應所述第一波導陣列的每個波導設置；所述激光二極管巴條、所述第一腔鏡陣列、所述第一波導陣列、所述第二波導陣列、所述第二腔鏡陣列和所述整形模塊均固定在熱沉上。

進一步的，所述第一波導陣列為摻釹釩酸釔波導陣列，所述第二波導陣列為周期極化鈮酸鋰波導陣列；所述摻釹釩酸釔波導陣列和所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的相鄰波導之間的間距相等。

進一步的，所述摻釹釩酸釔波導陣列的每個波導包括硅襯底，所述硅襯底上覆蓋有二氧化硅包層，所述二氧化硅包層上設置有摻釹釩酸釔脊型波導；所述摻釹釩酸釔脊型波導上覆蓋有二氧化硅包層；所述摻釹釩酸釔脊型波導的脊處寬度為10-50微米，高度為10-50微米；所述二氧化硅包層的厚度為1-20微米。

進一步的，所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的每個波導包括硅襯底，所述硅襯底上覆蓋有二氧化硅包層，所述二氧化硅包層上設置有周期極化鈮酸鋰脊形波導，所述周期極化鈮酸鋰脊形波導上覆蓋有二氧化硅包層；所述周期極化鈮酸鋰脊形波導的脊處寬度為10-50微米，高度為10-50微米；所述二氧化硅包層的厚度為1-20微米。

進一步的，所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的極化周期根據該列陣波導全固態激光器的設計工作溫度進行設置。

進一步的，所述摻釹釩酸釔波導陣列靠近所述激光二極管巴條一側鍍有808納米高透膜，另一側鍍有1064納米增透膜和532納米增透膜；所述周期極化鈮酸鋰波導陣列靠近所述摻釹釩酸釔波導陣列一側鍍有1064納米增透膜和532納米高反膜，另一側鍍有532納米增透膜。

進一步的，所述第一腔鏡陣列和所述第二腔鏡陣列包含若干與所述激光二極管巴條出光點對應設置的腔鏡；所述第一腔鏡陣列的腔鏡為平面鏡和摻釹釩酸釔端面高反膜中的一種；所述第二腔鏡陣列的腔鏡為平凹柱面鏡和周期極化鈮酸鋰高反膜中的一種。

進一步的，所述激光二極管巴條的每個出光點都經過光纖快軸壓縮處理。