[發(fā)明專利]一種列陣波導全固態(tài)激光器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110412830.5
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113067251A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 梁萬國;馮新凱;陳懷熹;張新彬;李廣偉;古克義;黃玉寶
• 申請（專利權(quán)）人: 福建中科晶創(chuàng)光電科技有限公司
• 主分類號: H01S5/22
• 分類號: H01S5/22;H01S5/14
• 代理公司: 福州科揚專利事務所(普通合伙) 35001
• 代理人: 郭夢羽

1.一種列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，包括激光二極管巴條(1),所述激光二極管巴條(1)包括若干出光點；沿所述激光二極管巴條(1)出光方向依次設置有第一腔鏡陣列(2)、第一波導陣列(3)、第二波導陣列(4)、第二腔鏡陣列(5)和整形模塊(6)；所述第一波導陣列(3)和所述第二波導陣列(4)均包含若干脊形的波導；所述第一波導陣列(3)的每個波導對應所述激光二極管巴條(1)的每個出光點設置；所述第二波導陣列(4)的每個波導對應所述第一波導陣列(3)的每個波導設置；所述激光二極管巴條(1)、所述第一腔鏡陣列(2)、所述第一波導陣列(3)、所述第二波導陣列(4)、所述第二腔鏡陣列(5)和所述整形模塊(6)均固定在熱沉(7)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述第一波導陣列(3)為摻釹釩酸釔波導陣列，所述第二波導陣列(4)為周期極化鈮酸鋰波導陣列；所述摻釹釩酸釔波導陣列和所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的相鄰波導之間的間距相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述摻釹釩酸釔波導陣列的每個波導包括硅襯底(8)，所述硅襯底(8)上覆蓋有二氧化硅包層(10)，所述二氧化硅包層(10)上設置有摻釹釩酸釔脊型波導(9)；所述摻釹釩酸釔脊型波導(9)上還覆蓋有二氧化硅包層(10)；所述摻釹釩酸釔脊型波導(9)的脊處寬度為10-50微米，高度為10-50微米；所述二氧化硅包層(10)的厚度為1-20微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的每個波導包括硅襯底(8)，所述硅襯底(8)上覆蓋有二氧化硅包層(10)，所述二氧化硅包層(10)上設置有周期極化鈮酸鋰脊形波導(11)，所述周期極化鈮酸鋰脊形波導(11)上覆蓋有二氧化硅包層(10)；所述周期極化鈮酸鋰脊形波導(11)的脊處寬度為10-50微米，高度為10-50微米；所述二氧化硅包層(10)的厚度為1-20微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述周期極化鈮酸鋰波導陣列的極化周期根據(jù)該列陣波導全固態(tài)激光器的設計工作溫度進行設置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述摻釹釩酸釔波導陣列靠近所述激光二極管巴條(1)一側(cè)鍍有808納米高透膜，另一側(cè)鍍有1064納米增透膜和532納米增透膜；所述周期極化鈮酸鋰波導陣列靠近所述摻釹釩酸釔波導陣列一側(cè)鍍有1064納米增透膜和532納米高反膜，另一側(cè)鍍有532納米增透膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述第一腔鏡陣列(2)和所述第二腔鏡陣列(5)包含若干與所述激光二極管巴條(1)出光點對應設置的腔鏡；所述第一腔鏡陣列(2)的腔鏡為平面鏡和摻釹釩酸釔端面高反膜中的一種；所述第二腔鏡陣列(5)的腔鏡為平凹柱面鏡和周期極化鈮酸鋰高反膜中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述激光二極管巴條(1)的每個出光點都經(jīng)過光纖快軸壓縮處理。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述列陣波導全固態(tài)激光器，其特征在于，所述整形模塊(6)為柱面聚焦透鏡。