[發(fā)明專利]一種在線式快速抽真空的真空等離子機

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110410502.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113118139A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設計）人: 林小蘭;甘華烽;謝東華
• 申請（專利權）人: 中山市普雷斯等離子科技有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及等離子機結構技術領域，尤其公開了一種在線式快速抽真空的真空等離子機；包括外機架，所述外機架設有內腔；所述內腔中設有負壓儲存?zhèn)}，和設置在負壓儲存?zhèn)}下側面的等離子真空倉；所述內腔中還設有真空泵裝置，所述真空泵裝置上連接有真空止回路管；所述真空止回路管連接有第一支路管和第二支路管；所述負壓儲存?zhèn)}和真空止回路管通過所述第一支路管連通，所述等離子真空倉和真空止回路管通過所述第二支路管連通，且所述第一支路管和第二支路管連通；所述真空等離子機還包括移動臺，所述移動臺上設有傳送帶；所述傳送帶上還設置有工件臺；本發(fā)明的真空等離子機可極大縮減抽真空時長，極大提高工作效率。

技術領域

本發(fā)明涉及等離子機結構技術領域，尤其涉及一種在線式快速抽真空的真空等離子機。

背景技術

目前，等離子清洗機在市場處于廣泛的應用，等離子清洗機一般分為常壓式等離子清洗機和真空式等離子清洗機，或稱為等離子表面處理機，是一種全新的高科技技術，等離子體的(活性)組成包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

目前，真空式等離子清洗機使用越來越廣泛，傳統(tǒng)的真空式等離子清洗機在使用過程中，需要運行一定的時間進行抽真空，而且抽真空的時間比較長，導致整個程序運行下來，需要操作人員較長時間的等待，工作效率較低，增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是提供一種預設負壓倉，可極大縮減抽真空時長，極大提高工作效率的在線式快速抽真空的真空等離子機。

為解決上述技術問題，本發(fā)明所采取的技術方案是：一種在線式快速抽真空的真空等離子機，包括外機架，所述外機架設有內腔；所述內腔中設有負壓儲存?zhèn)}，和設置在負壓儲存?zhèn)}下側面的等離子真空倉；所述內腔中還設有真空泵裝置，所述真空泵裝置上連接有真空止回路管；所述真空止回路管連接有第一支路管和第二支路管；所述負壓儲存?zhèn)}和真空止回路管通過所述第一支路管連通，所述等離子真空倉和真空止回路管通過所述第二支路管連通，且所述第一支路管和第二支路管連通；

所述真空等離子機還包括移動臺，所述移動臺上設有傳送帶；所述傳送帶上還設置有工件臺；所述移動臺的下方還設有氣缸立柱導軌裝置，所述移動臺通過氣缸立柱導軌裝置上下升降；所述真空等離子機還包括水平移動裝置，所述氣缸立柱導軌裝置安裝在水平移動裝置上，所述水平移動裝置在水平面水平移動，驅動氣缸立柱導軌裝置水平移動，從而驅動所述移動臺水平移動；

所述內腔中還設有等離子發(fā)生器，所述等離子發(fā)送器設有高壓線，所述等離子真空倉內設有銅板，所述高壓線射頻連接至銅板上。

本發(fā)明有益效果包括：

1、通過設置負壓倉，預先使負壓倉保持負壓狀態(tài)；當需要對等離子真空倉抽真空時，負壓倉和真空泵裝置同時對等離子真空倉抽真空，極大的縮短抽真空的時間，極大提高工作效率。

2、由于本發(fā)明中，分為等離子真空倉和與負壓儲存?zhèn)}，因此，每個倉的空間容量少二分之一，能到達快速抽真空的效率。

3、本發(fā)明中，在管道上還設有多個真空角閥，便于控制氣流，防止等離子真空倉向負壓倉回流。

4、等離子真空倉可為鋁制真空倉體，作為負極一端與地線相連接，導電性較強，散熱良好，在等離子工作時，能夠瞬間釋放電弧，達到等離子真空處理效果。

5、工件臺可為鋁板，為鋁制導電氧化板，不易刮花碰傷，而且導電性較強，輕量化便于底下裝有氣缸立柱導軌裝置便能輕易推動。

6、本發(fā)明中，采用工件臺與等離子真空倉密閉融合的方式，無需人工打開真空倉門放料，使得上下料更方便，在操作上方便快捷。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。