[發(fā)明專利]一種在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110410502.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號(hào): CN113118139A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林小蘭;甘華烽;謝東華
• 申請（專利權(quán)）人: 中山市普雷斯等離子科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，包括外機(jī)架(1)，所述外機(jī)架(1)設(shè)有內(nèi)腔；其特征在于，所述內(nèi)腔中設(shè)有負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)，和設(shè)置在負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)下側(cè)面的等離子真空倉(22)；所述內(nèi)腔中還設(shè)有真空泵裝置(31)，所述真空泵裝置(31)上連接有真空止回路管(32)；所述真空止回路管(32)連接有第一支路管(321)和第二支路管(322)；所述負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)和真空止回路管(32)通過所述第一支路管(321)連通，所述等離子真空倉(22)和真空止回路管(32)通過所述第二支路管(322)連通，且所述第一支路管(321)和第二支路管(322)連通；

所述真空等離子機(jī)還包括移動(dòng)臺(tái)(5)，所述移動(dòng)臺(tái)(5)上設(shè)有傳送帶(51)；所述傳送帶(51)上還設(shè)置有工件臺(tái)(52)；所述移動(dòng)臺(tái)(5)的下方還設(shè)有氣缸立柱導(dǎo)軌裝置(6)，所述移動(dòng)臺(tái)(5)通過氣缸立柱導(dǎo)軌裝置(6)上下升降；所述真空等離子機(jī)還包括水平移動(dòng)裝置，所述氣缸立柱導(dǎo)軌裝置(6)安裝在水平移動(dòng)裝置上，所述水平移動(dòng)裝置在水平面水平移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)氣缸立柱導(dǎo)軌裝置(6)水平移動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)臺(tái)(5)水平移動(dòng)；

所述內(nèi)腔中還設(shè)有等離子發(fā)生器(41)，所述等離子發(fā)送器(41)設(shè)有高壓線，所述等離子真空倉(22)內(nèi)設(shè)有銅板，所述高壓線射頻連接至銅板上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述等離子真空倉(22)下側(cè)開口，所述工件臺(tái)(52)為板狀結(jié)構(gòu)；通過水平移動(dòng)裝置，所述移動(dòng)臺(tái)(5)水平移動(dòng)，驅(qū)使所述工件臺(tái)(52)水平移動(dòng)至所述真空倉(22)下方后，通過所述氣缸立柱導(dǎo)軌裝置(6)，驅(qū)動(dòng)所述工件臺(tái)(52)向上移動(dòng)至所述真空倉(22)下側(cè)開口處，使得所述等離子真空倉(22)和工件臺(tái)(52)形成密閉空間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述等離子真空倉(22)為方形體結(jié)構(gòu)，所述等離子真空倉(22)的下側(cè)開口為方形結(jié)構(gòu)，所述工件臺(tái)(52)為方形結(jié)構(gòu)，且所述工件臺(tái)(52)和等離子真空倉(22)的下側(cè)開口的尺寸相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述真空等離子機(jī)開啟后，所述真空泵裝置(31)通過真空止回路管(32)和第一支路管(321)，預(yù)先對所述負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)進(jìn)行抽真空，使得所述負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)保持負(fù)壓狀態(tài)；

當(dāng)所述工件臺(tái)(52)與所述等離子真空倉(22)連接形成密閉空間后；所述真空泵裝置(31)通過真空止回路管(32)和第二支路管(322)，對所述等離子真空倉(22)進(jìn)行抽真空；同時(shí)，負(fù)壓狀態(tài)下的負(fù)壓儲(chǔ)存?zhèn)}(21)，通過所述第一支路管(321)和第二支路管(322)，對所述等離子真空倉(22)進(jìn)行抽真空。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述真空止回路管(32)上設(shè)有第一真空角閥(331)，所述第一支路管(321)上設(shè)有第二真空角閥(332)，所述第二支路管(322)上設(shè)有第三真空角閥(333)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述外機(jī)架(1)的下方設(shè)有底板(71)；所述水平移動(dòng)裝置位于所述底板(71)的底側(cè)，所述水平移動(dòng)裝置為萬向輪(72)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線式快速抽真空的真空等離子機(jī)，其特征在于，所述等離子真空倉(22)的下方還設(shè)有限位裝置，當(dāng)所述工件臺(tái)(52)移動(dòng)至所述等離子真空倉(22)的下側(cè)開口處后，所述限位裝置驅(qū)動(dòng)所述工件臺(tái)(52)緊密連接在所述真空倉(22)的下側(cè)開口；所述真空等離子機(jī)還設(shè)有光電檢測裝置，所述光電檢測裝置用于檢測所述工件臺(tái)(52)與等離子真空倉(22)是否密閉連接；

所述等離子真空倉(22)設(shè)有活動(dòng)連接的倉門(221)，所述等離子真空倉(22)上還設(shè)有觀察倉(222)，所述觀察倉(222)設(shè)有透明裝置。