[發明專利]一種蒸鍍產線的擋板機構

有效

• 申請號: 202110407278.0
• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN113106412B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 黃穩;廖良生;趙平;趙鵬鵬;胡淳;高永喜;顧婉瑩;張敬娣;武啟飛
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李柏柏

本發明公開了一種蒸鍍產線的擋板機構，蒸鍍產線包括多個蒸鍍腔和流轉卡夾，蒸鍍腔內設置有蒸發組件及蒸鍍通道，流轉卡夾承載基片依次經過蒸鍍通道上方進行蒸鍍工作，擋板機構包括多個擋板組件，擋板組件對應所述蒸鍍通道設置，所述擋板組件動態遮擋其所對應的所述蒸鍍通道形成工作通道，所述工作通道與所述基片在蒸鍍通道的暴露部分相匹配。本發明通過擋板組件形成工作通道，防止蒸鍍腔中的蒸發源泄露出去，本發明可以有效的阻止在蒸鍍的過程中材料從一個功能腔體到另一個功能腔體去，造成交叉污染。

技術領域

本發明屬于鍍膜技術領域，具體涉及一種蒸鍍產線的擋板機構。

背景技術

有機薄膜電致發光顯示器件(OLED)，是有機半導體材料在電場作用下發光的一項新興技術，近年來得到了迅速發展。OLED照明產品的低能耗、環保、超薄、高色彩飽和度、面光源等優點，使其成為未來照明產品發展的主流趨勢之一。現如今OLED照明器件主要通過蒸發鍍膜的方法制備，在實際生產中，因為其要在高真空條件下生產，并且具有多道蒸鍍工藝，產線方案主要是采用團簇式(Cluster)結構及線性傳遞結構(Inline)，團簇式結構即多個八角腔體相連，每個八角腔體的各個邊上安裝不同功能的蒸鍍腔體，處于中間的八角腔體作為傳輸用，內部安裝有傳輸用機械手，所蒸鍍的產品(玻璃基片)依次通過每個八角腔體。現如今八角腔體作為傳遞腔體，其主要靠真空機械手完成基片從一個功能腔體到另外一個功能腔，對于大型蒸鍍生產線來說，真空機械手價格昂貴，而且傳遞的重量較輕，一般是傳遞玻璃基片，這就導致每個功能的蒸鍍腔體都需對位裝置，效率較低，價格昂貴，而且此傳遞方式導致，蒸發源只能為點源，無法實現線蒸發源方式蒸發，效率低，材料利用率低等問題。而線性結構主要是多個功能腔體連接在一起，基片和掩膜板在對位腔體中完成對位，流轉卡夾載著對位后的基片和掩膜板一起在蒸鍍腔體導軌上運動，實現有機材料的沉積。線性結構采用線性蒸發源，其效率及材料利用率較高，但2個功能腔體蒸鍍不同材料，材料容易從一個功能腔體到另一個功能腔體，造成交叉污染。

發明內容

為此，本發明所要解決的技術問題在于克服現有技術中的材料容易從一個功能腔體到另一個功能腔體，造成交叉污染的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種蒸鍍產線的擋板機構，所述蒸鍍產線包括多個蒸鍍腔和流轉卡夾，所述蒸鍍腔內設置有蒸發組件及蒸鍍通道，所述流轉卡夾承載基片依次經過所述蒸鍍通道上方進行蒸鍍工作，

所述擋板機構包括多個擋板組件，所述擋板組件對應所述蒸鍍通道設置，所述擋板組件動態遮擋其所對應的所述蒸鍍通道形成工作通道，所述工作通道與所述基片在蒸鍍通道的暴露部分相匹配。

進一步的，所述擋板組件包括第一擋板及第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板沿與所述基片運動方向相同的方向運動以調節所述工作通道的大小和位置，所述第一擋板和所述第二擋板沿與所述基片運動方向相反的方向運動以回到初始位置。

進一步的，所述擋板機構還包括用于帶動所述第一擋板運動的第一驅動組件和用于帶動所述第二擋板運動的第二驅動組件，所述第一驅動組件包括第一電機和第一傳動裝置，所述第二驅動組件包括第二電機和第二傳動裝置。

進一步的，所述擋板機構還包括用于導向所述第一擋板運動的第一擋板導向裝置和用于導向所述第二擋板運動的第二擋板導向裝置。

進一步的，所述第一擋板與所述第二擋板錯層設置，避免相鄰擋板組件干擾。

進一步的，所述蒸鍍腔內設置有多個蒸發組件及多個蒸鍍通道。

進一步的，所述蒸發組件為線性蒸發源。

進一步的，所述擋板機構還包括用于檢測所述基片位置的傳感器。

進一步的，所述傳感器為光電開關。

本發明還提供另外一個技術方案：一種蒸鍍產線，包括如上所述的擋板機構。