[發(fā)明專利]一種蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110407278.0
• 申請(qǐng)日: 2021-04-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113106412B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃穩(wěn);廖良生;趙平;趙鵬鵬;胡淳;高永喜;顧婉瑩;張敬娣;武啟飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇集萃有機(jī)光電技術(shù)研究所有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李柏柏

1.一種蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，所述蒸鍍產(chǎn)線包括：

多個(gè)蒸鍍腔，所述蒸鍍腔內(nèi)設(shè)置有蒸發(fā)組件及蒸鍍通道；

流轉(zhuǎn)卡夾，所述流轉(zhuǎn)卡夾承載基片依次經(jīng)過(guò)所述蒸鍍通道上方進(jìn)行蒸鍍工作；

其特征在于，所述擋板機(jī)構(gòu)包括擋板組件，所述擋板組件對(duì)應(yīng)所述蒸鍍通道設(shè)置，所述擋板組件動(dòng)態(tài)遮擋所述蒸鍍通道形成工作通道，所述工作通道與所述基片在蒸鍍通道的暴露部分相匹配；

所述擋板組件包括第一擋板及第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板沿與所述基片運(yùn)動(dòng)方向相同的方向運(yùn)動(dòng)以調(diào)節(jié)所述工作通道的大小和位置，所述第一擋板和所述第二擋板沿與所述基片運(yùn)動(dòng)方向相反的方向運(yùn)動(dòng)以回到初始位置。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述擋板機(jī)構(gòu)還包括用于帶動(dòng)所述第一擋板運(yùn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)組件和用于帶動(dòng)所述第二擋板運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)組件，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括第一電機(jī)和第一傳動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括第二電機(jī)和第二傳動(dòng)裝置帶動(dòng)所述第二擋板運(yùn)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一擋板與所述第二擋板錯(cuò)層設(shè)置，避免相鄰擋板組件干擾。

4.如權(quán)利要求3所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述擋板機(jī)構(gòu)還包括用于導(dǎo)向所述第一擋板運(yùn)動(dòng)的第一擋板導(dǎo)向裝置和用于導(dǎo)向所述第二擋板運(yùn)動(dòng)的第二擋板導(dǎo)向裝置。

5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蒸鍍腔內(nèi)設(shè)置有多個(gè)所述蒸發(fā)組件及多個(gè)所述蒸鍍通道。

6.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蒸發(fā)組件為線性蒸發(fā)源。

7.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述擋板機(jī)構(gòu)還包括用于檢測(cè)所述基片位置的傳感器。

8.如權(quán)利要求7所述的蒸鍍產(chǎn)線的擋板機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳感器為光電開(kāi)關(guān)。

9.一種蒸鍍產(chǎn)線，包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的擋板機(jī)構(gòu)。