[發明專利]ZnSn合金靶材及其制備方法在審
| 申請號： | 202110403534.9 | 申請日： | 2021-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN113308672A | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 張玉玲;甘志儉 | 申請（專利權）人： | 基邁克材料科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C22C13/00;C22C18/00 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 孔令聰 |
| 地址： | 215200 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | znsn 合金 及其 制備 方法 | ||
1.一種ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
將Zn粉末和Sn粉末混合均勻，得到混合粉體；
對所述混合粉體進行預壓成型，壓力為400T以上并保壓處理，得到ZnSn合金毛坯；
采用冷等靜壓的工藝對所述ZnSn合金毛坯進行強化處理，得到ZnSn合金靶坯；以及
對所述ZnSn合金靶坯進行綁定成型，得到ZnSn合金靶材。
2.根據權利要求1所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，所述Zn粉末和所述Sn粉末的D50均為30μm～60μm。
3.根據權利要求1所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，將Zn粉末和Sn粉末混合均勻的操作為：按照質量份數，將45份～55份的Zn粉末、45份～55份的Sn粉末和二氧化鋯球加入混料機內混料。
4.根據權利要求3所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，所述Zn粉末和所述Sn粉末的混合物與所述二氧化鋯球的質量比為1：(2～3)。
5.根據權利要求3所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，所述二氧化鋯球的個數為若干個，若干個所述二氧化鋯球的規格包括Φ2mm、Φ5mm、Φ10mm、Φ20mm和Φ25mm。
6.根據權利要求3所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，所述混料機的轉速為100r/min～250r/min，混料時間為5h～15h。
7.根據權利要求1～6中任一項所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，對所述混合粉體進行預壓成型的壓力為400T～600T，保壓時間為5min～10min。
8.根據權利要求1～6中任一項所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，冷等靜壓的壓力為200MPa～300MPa，保壓時間為5min～20min。
9.根據權利要求1～6中任一項所述的ZnSn合金靶材的制備方法，其特征在于，對所述混合粉體進行預壓成型的壓力為450T～550T，保壓時間為6min～8min；冷等靜壓的壓力為230MPa～260MPa，保壓時間為8min～15min。
10.一種ZnSn合金靶材，其特征在于，ZnSn合金靶材由權利要求1～9中任一項所述的ZnSn合金靶材的制備方法制備得到。
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