[發(fā)明專利]一種MPCVD設(shè)備溫度控制裝置及控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110399533.1
• 申請日: 2021-04-14
• 公開（公告）號: CN113515151B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔闖;朱長征;吳劍波;楊春梅
• 申請（專利權(quán)）人: 上海征世科技股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 上海邦德專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31312
• 代理人: 袁步蘭

1.一種MPCVD設(shè)備溫度控制裝置，其特征在于：該溫度控制裝置包括基片臺、底座（4），所述底座（4）設(shè)置在基片臺下方，底座（4）內(nèi)設(shè)置有感應(yīng)組件（2）、冷卻組件（3），所述感應(yīng)組件（2）與基片臺固定，所述冷卻組件（3）與基片臺管道連接，所述感應(yīng)組件（2）連接有控制系統(tǒng)（5）；

所述基片臺包括若干組基片（1）；所述感應(yīng)組件（2）包括若干組感應(yīng)板（2-1），每組所述感應(yīng)板（2-1）分別對應(yīng)設(shè)置在每組基片（1）的下方，每組所述感應(yīng)板（2-1）下方均設(shè)置有轉(zhuǎn)接箱（2-4），每組所述轉(zhuǎn)接箱（2-4）均與控制系統(tǒng)（5）電性連接；

所述冷卻組件（3）包括若干組基艙（3-1），每組所述基艙（3-1）分別對應(yīng)設(shè)置在每組轉(zhuǎn)接箱（2-4）的下方，每組所述基艙（3-1）上均設(shè)置有傳輸管（3-9），所述傳輸管（3-9）的另一端依次經(jīng)過轉(zhuǎn)接箱（2-4）、感應(yīng)板（2-1）并與基片（1）管道連接，每組所述基片（1）遠離傳輸管（3-9）的一端設(shè)置有出水支管；

每組所述基艙（3-1）內(nèi)部均設(shè)置有塑型板（3-2），所述塑型板（3-2）上方設(shè)置有固定板（3-4），所述固定板（3-4）兩端設(shè)置有固定柱（3-6），所述固定柱（3-6）的另一端與基艙（3-1）內(nèi)壁固定，所述塑型板（3-2）上端兩側(cè)分別設(shè)置有豎板，所述塑型板（3-2）下方設(shè)置有膨脹板（3-12），塑型板（3-2）兩端內(nèi)部均設(shè)置有延伸板（3-4），每組所述延伸板（3-4）上均設(shè)置有隨動板（3-3），兩組所述隨動板（3-3）分別位于兩組豎板的外側(cè)，隨動板（3-3）與膨脹板（3-12）固定；

所述感應(yīng)組件（2）還包括若干組調(diào)控組件，所述調(diào)控組件包括冷卻網(wǎng)（2-51）、加熱板（2-8），所述加熱板（2-8）設(shè)置在膨脹板（3-12）內(nèi)部，所述加熱板（2-8）設(shè)置在基艙（3-1）中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD設(shè)備溫度控制裝置，其特征在于：每組所述感應(yīng)板（2-1）的下方均設(shè)置有第一半導(dǎo)體（2-2）和第二半導(dǎo)體（2-3），所述第一半導(dǎo)體（2-2）和第二半導(dǎo)體（2-3）的另一端均插入轉(zhuǎn)接箱（2-4）的內(nèi)部，每組所述轉(zhuǎn)接箱（2-4）的內(nèi)部均設(shè)置有轉(zhuǎn)接組件（2-41），所述轉(zhuǎn)接組件（2-41）與第一半導(dǎo)體（2-2）及第二半導(dǎo)體（2-3）電性連接，若干組所述轉(zhuǎn)接組件（2-41）均與控制系統(tǒng)（5）電性連接；每組所述調(diào)控組件分別與每組轉(zhuǎn)接組件（2-41）電性連接，所述調(diào)控組件一端設(shè)置在傳輸管（3-9）中，調(diào)控組件另一端設(shè)置在基艙（3-1）中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種MPCVD設(shè)備溫度控制裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接組件（2-41）包括端子排（2-42）、換向箱，所述端子排（2-42）分別與第一半導(dǎo)體（2-2）、第二半導(dǎo)體（2-3）、換向箱以及控制系統(tǒng)（5）電性連接；所述冷卻網(wǎng)（2-51）設(shè)置在傳輸管（3-9）中，所述冷卻網(wǎng)（2-51）兩側(cè)分別設(shè)置有第三半導(dǎo)體（2-6）、第四半導(dǎo)體（2-7），所述第三半導(dǎo)體（2-6）與換向箱電性連接，所述第四半導(dǎo)體（2-7）與加熱板（2-8）電性連接，所述加熱板（2-8）與換向箱電性連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種MPCVD設(shè)備溫度控制裝置，其特征在于：所述膨脹板（3-12）由膨脹系數(shù)高的材料做成，每組所述基艙（3-1）上均開設(shè)有兩組通水槽，一組所述通水槽與傳輸管（3-9）連接，另一組所述通水槽連接有總進水管（3-10），所述基艙（3-1）內(nèi)部上端設(shè)置有套殼（3-7），所述套殼（3-7）內(nèi)部對應(yīng)兩組隨動板（3-3）的方向分別設(shè)置有兩組限流板（3-8），兩組所述限流板（3-8）均穿過豎板并分別與兩組隨動板（3-3）固定，兩組所述限流板（3-8）以及套殼（3-7）兩端載對應(yīng)通水槽的位置均開設(shè)有水流槽，所述限流板（3-8）對套殼（3-7）上的水流槽進行阻擋，限流板（3-8）與套殼（3-7）相互配合對冷卻水的流速進行控制。