[發(fā)明專利]一種散熱器件及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110395385.6
• 申請日: 2021-04-13
• 公開（公告）號: CN113133283B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設計）人: 林柏全;秦鋒;席克瑞;朱清三;歐陽珺婷;賈振宇
• 申請（專利權）人: 上海天馬微電子有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20
• 代理公司: 北京允天律師事務所 11697
• 代理人: 王榮

本申請?zhí)峁┮环N散熱器件及其制造方法，待散熱部件與蒸發(fā)區(qū)域接觸，蒸發(fā)腔內的冷卻液受熱汽化形成蒸汽，通過蒸汽傳出管道傳輸至冷凝區(qū)域的冷凝腔內液化為液體，蒸發(fā)腔由于液體減少且氣體傳出，氣壓降低，冷凝腔內的冷卻液在壓強作用下通過冷凝液體回流管道流向蒸發(fā)腔，實現散熱器件內部冷卻液的自循環(huán)。由此可見，本申請實施例是通過氣壓變化實現液體的循環(huán)散熱，無需均熱板中通過真空腔室和毛細管道進行液體散熱循環(huán)，相較于利用毛細管道，本申請實施例的冷凝液體回流管道和蒸汽傳出管道可以具有更大的尺寸，降低制造工藝的成本。

技術領域

本發(fā)明涉及器件制造領域，特別涉及一種散熱器件及其制造方法。

背景技術

在當今社會，電子設備的發(fā)展越來越迅速。在電子設備的使用過程中，電子設備是否具有良好的散熱性能是用戶關注的核心焦點之一。現有的電子設備的散熱技術主要是利用石墨散熱片或均熱板進行散熱。雖然均熱板散熱效率比石墨散熱片高，但是均熱板的制造成本也很高。

因此，現在急需一種制造成本較低的散熱器件。

發(fā)明內容

有鑒于此，本申請的目的在于提供一種制造成本較低的散熱器件及其制造方法。

本申請實施例提供一種散熱器件，包括：蒸發(fā)區(qū)域、蒸汽傳輸區(qū)域、冷凝區(qū)域和液體回流區(qū)域；

所述蒸汽傳輸區(qū)域具有蒸汽傳出管道，所述液體回流區(qū)域具有冷凝液體回流管道，所述蒸發(fā)區(qū)域具有蒸發(fā)腔，所述冷凝區(qū)域具有冷凝腔；所述蒸汽傳出管道、所述冷凝液體回流管道、所述蒸發(fā)腔、所述冷凝腔利用第一基板、第二基板以及所述第一基板和所述第二基板之間的隔離結構形成，所述蒸汽傳出管道橫截面尺寸小于所述冷凝液體回流管道橫截面尺寸；

所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔中具有冷卻液；所述蒸發(fā)腔中的冷卻液在所述蒸發(fā)區(qū)域與待散熱部件接觸時受熱形成蒸汽，所述蒸汽從所述蒸汽傳出管道通入所述冷凝腔并液化，冷凝腔中的冷卻液通過所述冷凝液體回流管道流向所述蒸發(fā)腔，構成冷卻液的自循環(huán)。

可選的，所述蒸汽傳出管道和/或所述冷凝液體回流管道包括多個并排的管道。

可選的，所述第一基板為介質基板，所述第二基板為金屬基板，所述隔離結構為在所述介質基板上形成的金屬部件。

可選的，位于所述蒸發(fā)區(qū)域的所述金屬基板用于與所述待散熱部件接觸。

可選的，所述介質基板為玻璃基板。

可選的，所述隔離結構為金屬銅。

可選的，所述蒸汽傳出管道垂直于管道橫截面的方向上的長度小于所述冷凝液體回流管道垂直于管道橫截面的方向上的長度。

可選的，所述蒸汽傳出管道和/或所述冷凝液體回流管道的橫截面尺寸范圍或垂直于基板表面方向上的深度范圍為10-100微米。

可選的，所述冷凝液體回流管道垂直于基板表面方向上的深度小于所述蒸汽傳出管道垂直于基板表面方向上的深度。

可選的，所述冷凝液體回流管道內部覆蓋有親水膜層，所述蒸汽傳出管道內部覆蓋有疏水膜層。

可選的，所述蒸發(fā)腔內的冷卻液未充滿所述蒸發(fā)腔。

可選的，所述冷凝腔位于所述第一基板一側具有金屬層，所述冷凝腔垂直于基板表面方向上的深度小于所述蒸發(fā)腔垂直于基板表面方向上的深度。

本申請實施例還提供了一種散熱器件的制造方法，包括：

在第一基板上形成隔離結構；所述第一基板具有蒸發(fā)區(qū)域、蒸汽傳輸區(qū)域、冷凝區(qū)域和液體回流區(qū)域；