[發(fā)明專利]一種散熱器件及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110395385.6 | 申請日： | 2021-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN113133283B | 公開（公告）日： | 2023-10-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林柏全;秦鋒;席克瑞;朱清三;歐陽珺婷;賈振宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海天馬微電子有限公司 |
| 主分類號： | H05K7/20 | 分類號： | H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京允天律師事務(wù)所 11697 | 代理人： | 王榮 |
| 地址： | 201201 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 散熱 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一種散熱器件，其特征在于，包括：蒸發(fā)區(qū)域、蒸汽傳輸區(qū)域、冷凝區(qū)域和液體回流區(qū)域；
所述蒸汽傳輸區(qū)域具有蒸汽傳出管道，所述液體回流區(qū)域具有冷凝液體回流管道，所述蒸發(fā)區(qū)域具有蒸發(fā)腔，所述冷凝區(qū)域具有冷凝腔；所述蒸汽傳出管道、所述冷凝液體回流管道、所述蒸發(fā)腔、所述冷凝腔利用第一基板、第二基板以及所述第一基板和所述第二基板之間的隔離結(jié)構(gòu)形成，所述蒸汽傳出管道橫截面尺寸小于所述冷凝液體回流管道橫截面尺寸；
所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔中具有冷卻液；所述蒸發(fā)腔中的冷卻液在所述蒸發(fā)區(qū)域與待散熱部件接觸時受熱形成蒸汽，所述蒸汽從所述蒸汽傳出管道通入所述冷凝腔并液化，冷凝腔中的冷卻液通過所述冷凝液體回流管道流向所述蒸發(fā)腔，構(gòu)成冷卻液的自循環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述蒸汽傳出管道和/或所述冷凝液體回流管道包括多個并排的管道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述第一基板為介質(zhì)基板，所述第二基板為金屬基板，所述隔離結(jié)構(gòu)為在所述介質(zhì)基板上形成的金屬部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件，其特征在于，位于所述蒸發(fā)區(qū)域的所述金屬基板用于與所述待散熱部件接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件，其特征在于，所述介質(zhì)基板為玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件，其特征在于，所述隔離結(jié)構(gòu)為金屬銅。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述蒸汽傳出管道垂直于管道橫截面的方向上的長度小于所述冷凝液體回流管道垂直于管道橫截面的方向上的長度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述蒸汽傳出管道和/或所述冷凝液體回流管道的橫截面尺寸范圍或垂直于基板表面方向上的深度范圍為10-100微米。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述冷凝液體回流管道垂直于基板表面方向上的深度小于所述蒸汽傳出管道垂直于基板表面方向上的深度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述冷凝液體回流管道內(nèi)部覆蓋有親水膜層，所述蒸汽傳出管道內(nèi)部覆蓋有疏水膜層。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述蒸發(fā)腔內(nèi)的冷卻液未充滿所述蒸發(fā)腔。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的器件，其特征在于，所述冷凝腔位于所述第一基板一側(cè)具有金屬層，所述冷凝腔垂直于基板表面方向上的深度小于所述蒸發(fā)腔垂直于基板表面方向上的深度。
13.一種散熱器件的制造方法，其特征在于，包括：
在第一基板上形成隔離結(jié)構(gòu)；所述第一基板具有蒸發(fā)區(qū)域、蒸汽傳輸區(qū)域、冷凝區(qū)域和液體回流區(qū)域；
在所述隔離結(jié)構(gòu)上方覆蓋第二基板，以便所述第一基板、所述第二基板以及所述第一基板和所述第二基板之間的隔離結(jié)構(gòu)形成位于所述蒸發(fā)區(qū)域的蒸發(fā)腔、位于所述冷凝區(qū)域的冷凝腔、位于所述蒸汽傳輸區(qū)域的蒸汽傳出管道和位于所述液體回流區(qū)域的冷凝液體回流管道，所述蒸汽傳出管道橫截面尺寸小于所述冷凝液體回流管道橫截面尺寸；
向所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔中填充冷卻液。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，在所述隔離結(jié)構(gòu)上方覆蓋第二基板后，所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔形成有開口；
所述向所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔中填充冷卻液，包括：
通過所述冷凝腔的開口向所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔中填充所述冷卻液；
所述方法還包括：
通過所述冷凝腔的開口向所述冷凝液體回流管道填充所述冷卻液，密封所述蒸發(fā)腔和所述冷凝腔的開口。
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