[發(fā)明專利]平面度測定方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110393143.3 | 申請日： | 2018-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN113295077B | 公開（公告）日： | 2023-09-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金內(nèi)伸朗 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社阿迪泰克工程 |
| 主分類號： | G01B5/28 | 分類號： | G01B5/28;G01C9/00 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人： | 任天諾;高培培 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 平面 測定 方法 | ||
1.一種平面度測定方法，對具備水平方向的配置為已知的大量的測定點標(biāo)記的物體的上表面的水平方向上的平面度進行測定，其特征在于，
所述平面度測定方法是使用測定單元的方法，所述測定單元具備：
具有平坦的上表面的測定板；
安裝于測定板之上的水平儀；以及
三根腿銷，從測定板的下表面向下方垂直地延伸，且距測定板的上表面的長度均勻，
大量的測定點標(biāo)記的配置是在選擇了相鄰的任意三個測定點標(biāo)記的情況下都與測定單元的三根腿銷的配置相同的配置，
所述平面度測定方法包括三點測定步驟，在所述三點測定步驟中，選擇大量的測定點標(biāo)記中的相鄰的三個測定點標(biāo)記，在測定單元的腿銷分別載置于選擇出的三個測定點標(biāo)記之上的狀態(tài)下，通過水平儀對正交的兩個水平方向上的測定板的傾斜進行測定，
所述平面度測定方法是通過依次對各三個測定點標(biāo)記進行三點測定步驟來測定平面度的方法，
第二次以后的三點測定步驟是重復(fù)選擇此前選擇過的測定點標(biāo)記中的一個而進行測定的步驟，
所述平面度測定方法是通過依次進行三點測定步驟而針對所有的測定點標(biāo)記通過水平儀對測定板的上表面的傾斜進行測定的方法，
所述平面度測定方法包括如下步驟：根據(jù)各三點測定步驟中的在所述兩個水平方向上的測定板的上表面的傾斜，來算出處于最高的位置的測定點標(biāo)記與處于最低的位置的測定點標(biāo)記之間的高度的差異，
所述平面度測定方法包括如下步驟：將測定片覆蓋于物體的上表面，在所述測定片設(shè)置有測定點標(biāo)記，所述測定點標(biāo)記設(shè)置為在其上供所述測定單元的各腿銷載置的位置。
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