[發(fā)明專利]一種探針臺針痕檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110390687.4
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113075233A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王蕾;高躍紅;田學光;鄭福志;崔立志;金釗;帥智艷;沐陽
• 申請（專利權(quán)）人: 長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 長春中科長光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22218
• 代理人: 高一明;郭婷

1.一種探針臺針痕檢測方法，其特征在于，通過建立運動線程和圖像線程并行工作，使探針臺的晶圓移動、圖像處理、數(shù)據(jù)保存同時進行。

2.如權(quán)利要求1所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述針痕檢測步驟包括：

S1：根據(jù)die尺寸和相機視場尺寸計算檢測區(qū)域數(shù)n；

S2：根據(jù)當前die的坐標和區(qū)域數(shù)n計算出每個檢測區(qū)域的坐標(X_i，Y_i)；

S3：啟動運動線程和圖像線程同時工作。

3.如權(quán)利要求2所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述運動線程通過移動承載晶圓的平臺使待測晶圓到指定位置。

4.如權(quán)利要求2所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述運動線程檢測到(X_i，Y_i)點，則立即運行i是否大于n的程序：

當in時，繼續(xù)執(zhí)行i＝i+1，使運動線程運動至(X_i+1，Y_i+1)點；

當in時，運動線程結(jié)束工作。

5.如權(quán)利要求4所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述運動線程將待測區(qū)域移動到相機下，每一次的運動時間為t_mi(i＝0，1，…，n)。

6.如權(quán)利要求2所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述圖像線程通過相機檢測圖像，獲取所有待測晶圓上芯片焊點的針痕檢測數(shù)據(jù)并保存。

7.如權(quán)利要求5所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述圖像線程每一次的處理時間為：t_ci(i＝0，1，…，n)。

8.如權(quán)利要求2所述的探針臺針痕檢測方法，其特征在于，所述運動線程和圖像線程同時工作的時間為：max(∑t_mi，∑t_ci)，(i＝0，1，…，n)。