[發(fā)明專利]一種二維材料轉(zhuǎn)移設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110387097.6
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113120891A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鐘國仿;楊方;陳炳安;肖蘊章;李小天
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市納設(shè)智能裝備有限公司
• 主分類號: C01B32/194
• 分類號: C01B32/194
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

本發(fā)明提供一種二維材料轉(zhuǎn)移設(shè)備，涉及二維材料技術(shù)領(lǐng)域，包括：放料裝置、熱壓裝置、分離裝置、清潔裝置、干燥裝置和收料裝置，通過分離裝置能夠?qū)⒍S材料從金屬薄膜上分離的特性，使得原本生長于金屬薄膜上的二維材料轉(zhuǎn)移到目標薄膜上，分別對貼附有二維材料的目標薄膜進行清潔和干燥，使得其滿足收集的要求，通過放料、熱壓、分離、清潔、干燥和收料的作業(yè)能夠形成二維材料轉(zhuǎn)移的自動化產(chǎn)線，進而實現(xiàn)效率和產(chǎn)能的提升，同時，也能夠降低生產(chǎn)成本，節(jié)省設(shè)備占用面積。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及二維材料技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種二維材料轉(zhuǎn)移設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著石墨烯的發(fā)現(xiàn)所引起的研究熱潮，目前一大批新型二維材料(包括但不局限于石墨烯、六方氮化硼(h-BN)、過渡金屬硫族化合物(TMDs))可以通過化學氣相沉積(CVD)技術(shù)制備。由于二維材料應(yīng)用的先決條件往往是要將二維材料先進行轉(zhuǎn)移，然后再進行利用，因此，如何對二維材料進行大規(guī)模的轉(zhuǎn)移是行業(yè)內(nèi)關(guān)注的焦點。

現(xiàn)有的二維材料轉(zhuǎn)移方法往往也只能實現(xiàn)二維材料的單面手動轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn)移的效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種二維材料轉(zhuǎn)移設(shè)備，以解決現(xiàn)有二維材料單面手動轉(zhuǎn)移時效率、產(chǎn)能較低的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例采用的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明實施例的一方面，提供一種二維材料轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括：放料裝置、熱壓裝置、分離裝置、清潔裝置、干燥裝置和收料裝置；放料裝置分別向熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜和目標薄膜，目標薄膜與金屬薄膜生長有二維材料的一面對應(yīng)；熱壓裝置用于將目標薄膜與金屬薄膜生長有二維材料的一面熱壓以形成復合薄膜并將復合薄膜輸送至分離裝置；分離裝置用于分離復合薄膜以將金屬薄膜上的二維材料轉(zhuǎn)移至目標薄膜并將貼附有二維材料的目標薄膜輸送至清潔裝置；清潔裝置用于清潔貼附有二維材料的目標薄膜并將貼附有二維材料的目標薄膜輸送至干燥裝置；干燥裝置用于干燥貼附有二維材料的目標薄膜并將干燥后的貼附有二維材料的目標薄膜輸送至收料裝置；收料裝置用于收集貼附有二維材料的目標薄膜。

可選的，放料裝置包括原料放料機構(gòu)和第一放料機構(gòu)；原料放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜，第一放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送涂覆有熱熔膠的第一目標薄膜，第一目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與金屬薄膜生長有二維材料的一面對應(yīng)。

可選的，放料裝置包括原料放料機構(gòu)、第一熱熔膠放料機構(gòu)和第一放料機構(gòu)；原料放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜，第一放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送第一目標薄膜，第一熱熔膠放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送第一熱熔膠薄膜，金屬薄膜生長有二維材料的一面對應(yīng)第一目標薄膜的一面且第一熱熔膠薄膜位于第一目標薄膜和金屬薄膜之間。

可選的，放料裝置包括原料放料機構(gòu)、第一放料機構(gòu)和第二放料機構(gòu)；原料放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送雙面均生長有二維材料的金屬薄膜，第一放料機構(gòu)和第二放料機構(gòu)分別向熱壓裝置輸送涂覆有熱熔膠的第一目標薄膜和涂覆有熱熔膠的第二目標薄膜；第一目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與金屬薄膜的一面對應(yīng)，第二目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與金屬薄膜的另一面對應(yīng)。

可選的，放料裝置包括原料放料機構(gòu)、第一熱熔膠放料機構(gòu)、第二熱熔膠放料機構(gòu)、第一放料機構(gòu)和第二放料機構(gòu)；原料放料機構(gòu)向熱壓裝置輸送雙面均生長有二維材料的金屬薄膜，第一放料機構(gòu)和第二放料機構(gòu)分別向熱壓裝置輸送第一目標薄膜和第二目標薄膜；第一目標薄膜和第二目標薄膜分別位于金屬薄膜的兩側(cè)，第一熱熔膠放料機構(gòu)和第二熱熔膠放料機構(gòu)分別向熱壓裝置輸送第一熱熔膠薄膜和第二熱熔膠薄膜且分別界于第一目標薄膜與金屬薄膜以及第二目標薄膜與金屬薄膜之間。