[發明專利]一種二維材料轉移設備

在審

• 申請號: 202110387097.6
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113120891A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 鐘國仿;楊方;陳炳安;肖蘊章;李小天
• 申請（專利權）人: 深圳市納設智能裝備有限公司
• 主分類號: C01B32/194
• 分類號: C01B32/194
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

1.一種二維材料轉移設備，其特征在于，包括：放料裝置、熱壓裝置、分離裝置、清潔裝置、干燥裝置和收料裝置；

所述放料裝置分別向所述熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜和目標薄膜，所述目標薄膜與所述金屬薄膜生長有二維材料的一面對應；

所述熱壓裝置用于將所述目標薄膜與所述金屬薄膜生長有二維材料的一面熱壓以形成復合薄膜并將所述復合薄膜輸送至所述分離裝置；

所述分離裝置用于分離所述復合薄膜以將所述金屬薄膜上的二維材料轉移至所述目標薄膜并將貼附有二維材料的所述目標薄膜輸送至所述清潔裝置；

所述清潔裝置用于清潔貼附有二維材料的所述目標薄膜并將清潔后的貼附有二維材料的所述目標薄膜輸送至所述干燥裝置；

所述干燥裝置用于干燥貼附有二維材料的所述目標薄膜并將干燥后的貼附有二維材料的所述目標薄膜輸送至所述收料裝置；

所述收料裝置用于收集貼附有二維材料的所述目標薄膜。

2.如權利要求1所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述放料裝置包括原料放料機構和第一放料機構；所述原料放料機構向所述熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜，所述第一放料機構向所述熱壓裝置輸送涂覆有熱熔膠的第一目標薄膜，所述第一目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與所述金屬薄膜生長有二維材料的一面對應。

3.如權利要求1所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述放料裝置包括原料放料機構、第一熱熔膠放料機構和第一放料機構；所述原料放料機構向所述熱壓裝置輸送至少一面生長有二維材料的金屬薄膜，所述第一放料機構向所述熱壓裝置輸送第一目標薄膜，所述第一熱熔膠放料機構向所述熱壓裝置輸送第一熱熔膠薄膜，所述金屬薄膜生長有二維材料的一面對應所述第一目標薄膜的一面且所述第一熱熔膠薄膜位于所述第一目標薄膜和所述金屬薄膜之間。

4.如權利要求1所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述放料裝置包括原料放料機構、第一放料機構和第二放料機構，所述原料放料機構向所述熱壓裝置輸送雙面均生長有二維材料的金屬薄膜，所述第一放料機構和所述第二放料機構分別向所述熱壓裝置輸送涂覆有熱熔膠的第一目標薄膜和涂覆有熱熔膠的第二目標薄膜，所述第一目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與所述金屬薄膜的一面對應，所述第二目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面與所述金屬薄膜的另一面對應。

5.如權利要求1所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述放料裝置包括原料放料機構、第一熱熔膠放料機構、第二熱熔膠放料機構、第一放料機構和第二放料機構；所述原料放料機構向所述熱壓裝置輸送雙面均生長有二維材料的金屬薄膜，所述第一放料機構和所述第二放料機構分別向所述熱壓裝置輸送第一目標薄膜和第二目標薄膜且所述第一目標薄膜和所述第二目標薄膜分別位于所述金屬薄膜的兩側，所述第一熱熔膠放料機構和所述第二熱熔膠放料機構分別向所述熱壓裝置輸送第一熱熔膠薄膜和第二熱熔膠薄膜且分別界于所述第一目標薄膜與所述金屬薄膜以及所述第二目標薄膜與所述金屬薄膜之間。

6.如權利要求1所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述放料裝置包括原料放料機構、第一熱熔膠放料機構、第一放料機構和第二放料機構；所述原料放料機構向所述熱壓裝置輸送雙面均生長有二維材料的金屬薄膜，所述第一放料機構向所述熱壓裝置輸送第一目標薄膜，所述第二放料機構向所述熱壓裝置輸送涂覆熱熔膠的第二目標薄膜；所述第一目標薄膜和所述第二目標薄膜分別位于所述金屬薄膜的兩側，所述第一熱熔膠放料機構向所述熱壓裝置輸送第一熱熔膠薄膜且界于所述第一目標薄膜與所述金屬薄膜之間，所述第二目標薄膜涂覆有熱熔膠的一面對應所述金屬薄膜。

7.如權利要求2至6任一項所述的二維材料轉移設備，其特征在于，所述原料放料機構包括設置有金屬薄膜卷材的原料輥輪，所述第一放料機構包括設置有第一目標薄膜卷材的第一輥輪。