[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體封裝缺陷檢測的移動平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110384593.6
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113109356B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 廖廣蘭;吳龍軍
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州盛科半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 南京禹為知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32272
• 代理人: 王曉東

1.一種用于半導(dǎo)體封裝缺陷檢測的移動平臺，其特征在于：包括，

固定臺（100），所述固定臺（100）上設(shè)置有槽孔（101），所述槽孔（101）側(cè)壁設(shè)置有對接槽（102）；

移動臺（200），所述移動臺（200）設(shè)置于所述槽孔（101）中，所述移動臺（200）內(nèi)部設(shè)置有容置槽（205），所述移動臺（200）頂面設(shè)置有第一出口（201），所述第一出口（201）與所述容置槽（205）通過第一直槽（202）連通，所述移動臺（200）四周側(cè)面設(shè)置有第二出口（203），所述第二出口（203）與所述容置槽（205）通過第二直槽（204）連通；

閥芯（300），所述閥芯（300）設(shè)置于所述容置槽（205）中；所述移動臺（200）底部設(shè)置有進(jìn)口槽（206），所述進(jìn)口槽（206）處設(shè)置有電磁閥（207），所述進(jìn)口槽（206）與所述容置槽（205）之間設(shè)置有隔板（208）；所述閥芯（300）中心處設(shè)置有豎槽（301），所述閥芯（300）底部于設(shè)置有進(jìn)氣管（302），所述進(jìn)氣管（302）與所述豎槽（301）相通；

移動臺（200）下方通過推桿電機(jī)驅(qū)動，推桿電機(jī)可控制移動臺（200）在槽孔（101）中上下移動；

所述閥芯（300）內(nèi)設(shè)置有第二出氣槽（303）通向側(cè)壁，所述第二出氣槽（303）與所述豎槽（301）相通；所述閥芯（300）頂部設(shè)置有頂塞（304），所述頂塞（304）位置與所述第一直槽（202）對應(yīng)，所述頂塞（304）與所述第一直槽（202）配合；所述第二出口（203）處設(shè)置有導(dǎo)向槽（203a）和限位槽（203b），所述導(dǎo)向槽（203a）和限位槽（203b）連通；

所述第二出口（203）處設(shè)置有對接塞（210），所述對接塞（210）包括密封段（210a）和限位段（210b），所述密封段（210a）設(shè)置于所述導(dǎo)向槽（203a）中，所述限位段（210b）設(shè)置于所述限位槽（203b）中；所述容置槽（205）頂部設(shè)置有頂槽（205a），所述頂槽（205a）與所述限位槽（203b）通過通槽（205b）連通；所述對接槽（102）開口處設(shè)置有嵌槽（102a），所述嵌槽（102a）與所述密封段（210a）配合；所述閥芯（300）底部設(shè)置有彈簧（305）與隔板（208）連接；所述閥芯（300）頂部設(shè)置有第一出氣槽（306），所述第一出氣槽（306）與所述豎槽（301）相通；

所述第一出氣槽（306）與所述頂槽（205a）位置對應(yīng)；所述隔板（208）上設(shè)置有通孔（209），所述進(jìn)氣管（302）穿過通孔（209）、從進(jìn)口槽（206）處伸出所述移動臺（200）。