[發明專利]一種多通道半導體晶圓篩選設備

在審

• 申請號: 202110384353.6
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113058874A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發明（設計）人: 王立江;袁丹
• 申請（專利權）人: 蘇州普洛泰科精密工業有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 楊芬

本發明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種多通道半導體晶圓篩選設備。包括設備機架、設置在設備機架內的工作平臺、安裝在設備平臺上的若干料盒、檢測單元、以及機械手搬運裝置，所述機械手搬運裝置設置在所述工作平臺的一端，所述檢測單元設置在所述工作平臺的另一端，所述機械手搬運裝置與所述檢測單元對應設置，所述料盒圍繞著所述機械手搬運裝置設置。本發明的有益之處：采用光學檢測晶圓的缺陷，并根據檢測結果將晶圓分類放置，設備檢測分類上料可自動化運行，無需人工，可提高生產效率降低生產成本。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種多通道半導體晶圓篩選設備。

背景技術

晶圓缺陷檢測是保證產品良率的重要的步驟之一，對于檢測精度和速度有較高要求，目前國內通常采用進口設備，因進口設備價格高昂，交期長，無法滿足國內快速反應的生產節奏。

現有技術的缺點：

1)晶圓測試機不穩定，誤判率高；2)難以檢測微小缺陷；3)料盒只能存放少量晶圓，需人工頻繁更換料盒，影響檢測效率。

發明內容

本發明的目的是，提供一種多通道半導體晶圓篩選設備，以克服目前現有技術存在的上述不足。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種多通道半導體晶圓篩選設備，其特征在于：包括設備機架、設置在設備機架內的工作平臺、安裝在設備平臺上的若干料盒、檢測單元、以及機械手搬運裝置，所述機械手搬運裝置設置在所述工作平臺的一端，所述檢測單元設置在所述工作平臺的另一端，所述機械手搬運裝置與所述檢測單元對應設置，所述料盒圍繞著所述機械手搬運裝置設置；

所述檢測單元包括檢測單元固定安裝座、設置在檢測單元固定安裝座上的旋轉電機、設置在旋轉電機端部的旋轉載臺、設置在檢測單元固定安裝座端部的感應器安裝塊、設置在所述感應器安裝塊上的缺陷檢測器以及設置在所述感應器安裝塊上的位置補正器，所述缺陷檢測器對應著所述旋轉載臺設置，所述位置補正器設置在所述旋轉載臺的上方位置，所述旋轉載臺中開設有吸附孔；

所述料盒上均設置有光纖傳感器；

所述機械手搬運裝置包括設置在工作平臺上的Z軸控制機、連接于在Z軸控制機上的第一軸、連接于第一軸上的第二軸、連接于第二軸上的第三軸、以及連接于在第三軸上的機械夾爪，所述機械夾爪上設置有檢測傳感器。

優選的，所述設備機架上設置有觸摸屏、控制按鈕以及旋轉開關。

優選的，所述機械夾爪上設置有真空吸盤。

優選的，所述料盒包括放料盒和廢料盒。

本發明的有益效果是：本發明結構簡單，采用光學檢測晶圓的缺陷，并根據檢測結果將晶圓分類放置，設備檢測分類上料可自動化運行，無需人工，可提高生產效率降低生產成本；采用四軸機器手，該機械手重復定位精度能夠達到0.1mm，潔凈度ISO 1級，抓手上裝有真空吸盤，可以在取到物品后快速移動到下一工位，具有高精度、高穩定性、高潔凈度以及節省空間；料盒設計成多層狀結構，一次可存放多塊晶圓，該結構可以很大程度節省產品存儲體積，將設備空間利用的更加充足，設備做到更緊湊。

附圖說明

圖1為本發明一種多通道半導體晶圓篩選設備的俯視圖；

圖2為本發明一種多通道半導體晶圓篩選設備的側視圖；

圖3為本發明一種多通道半導體晶圓篩選設備的機械手搬運裝置示意圖；

圖4為本發明一種多通道半導體晶圓篩選設備的料盒示意圖；

圖5為本發明一種多通道半導體晶圓篩選設備的檢測單元示意圖；