[發(fā)明專利]一種多通道半導(dǎo)體晶圓篩選設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110384353.6
• 申請(qǐng)日: 2021-04-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113058874A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王立江;袁丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州普洛泰科精密工業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): B07C5/34
• 分類號(hào): B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 楊芬

1.一種多通道半導(dǎo)體晶圓篩選設(shè)備，其特征在于：包括設(shè)備機(jī)架、設(shè)置在設(shè)備機(jī)架內(nèi)的工作平臺(tái)、安裝在設(shè)備平臺(tái)上的若干料盒、檢測(cè)單元、以及機(jī)械手搬運(yùn)裝置，所述機(jī)械手搬運(yùn)裝置設(shè)置在所述工作平臺(tái)的一端，所述檢測(cè)單元設(shè)置在所述工作平臺(tái)的另一端，所述機(jī)械手搬運(yùn)裝置與所述檢測(cè)單元對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述料盒圍繞著所述機(jī)械手搬運(yùn)裝置設(shè)置；

所述檢測(cè)單元包括檢測(cè)單元固定安裝座、設(shè)置在檢測(cè)單元固定安裝座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)、設(shè)置在旋轉(zhuǎn)電機(jī)端部的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)、設(shè)置在檢測(cè)單元固定安裝座端部的感應(yīng)器安裝塊、設(shè)置在所述感應(yīng)器安裝塊上的缺陷檢測(cè)器以及設(shè)置在所述感應(yīng)器安裝塊上的位置補(bǔ)正器，所述缺陷檢測(cè)器對(duì)應(yīng)著所述旋轉(zhuǎn)載臺(tái)設(shè)置，所述位置補(bǔ)正器設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的上方位置，所述旋轉(zhuǎn)載臺(tái)中開(kāi)設(shè)有吸附孔；

所述料盒上均設(shè)置有光纖傳感器；

所述機(jī)械手搬運(yùn)裝置包括設(shè)置在工作平臺(tái)上的Z軸控制機(jī)、連接于在Z軸控制機(jī)上的第一軸、連接于第一軸上的第二軸、連接于第二軸上的第三軸、以及連接于在第三軸上的機(jī)械夾爪，所述機(jī)械夾爪上設(shè)置有檢測(cè)傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道半導(dǎo)體晶圓篩選設(shè)備，其特征在于：所述設(shè)備機(jī)架上設(shè)置有觸摸屏、控制按鈕以及旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道半導(dǎo)體晶圓篩選設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)械夾爪上設(shè)置有真空吸盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道半導(dǎo)體晶圓篩選設(shè)備，其特征在于：所述料盒包括放料盒和廢料盒。