[發(fā)明專利]一種硅片烘烤用加熱裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110379658.8 | 申請日： | 2021-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN113206167A | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李雙玉 | 申請（專利權(quán)）人： | 涌明科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616 | 代理人： | 范琳 |
| 地址： | 201599 上海市金山*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 烘烤 加熱 裝置 | ||
1.一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于,其包括輸送構(gòu)件(2)和烘箱(1)，所述烘箱(1)兩側(cè)均設(shè)置有開口，所述輸送構(gòu)件(2)通過烘箱(1)兩側(cè)的開口貫穿于烘箱(1)內(nèi)腔下部，所述烘箱(1)上端固定安裝有分流罩(3)，所述分流罩(3)上端固定安裝有電熱箱(5)，所述電熱箱(5)上端固定安裝有進風(fēng)罩(4)，所述電熱箱(5)的一側(cè)固定安裝有安裝板(9)，所述安裝板(9)上端固定安裝有鼓風(fēng)機(7)，所述鼓風(fēng)機(7)的出風(fēng)端固定連接有排風(fēng)管(6)，所述排風(fēng)管(6)的另一端與進風(fēng)罩(4)固定連接，所述電熱箱(5)的前端固定安裝有電控盒(8)，所述電熱箱(5)內(nèi)固定安裝有電熱網(wǎng)(10)，所述烘箱(1)前端下部和后端下部均固定安裝有水平板(14)，且水平板(14)下端均對稱固定安裝有支撐腳(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述烘箱(1)、分流罩(3)、電熱箱(5)和進風(fēng)罩(4)均為一體成型結(jié)構(gòu)且內(nèi)部相通，所述分流罩(3)內(nèi)腔前后側(cè)壁之間共同固定有奇數(shù)個傾斜板(12)，所述烘箱(1)內(nèi)腔上部前后側(cè)壁之間共同固定安裝有與傾斜板(12)的數(shù)量相等的豎直板(11)，且每個豎直板(11)分別固定連接在其中一個傾斜板(12)下端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：位于兩側(cè)所述傾斜板(12)關(guān)于位于正中間的傾斜板(12)呈左右堆成，且每兩個相鄰的傾斜板(12)上端面之間的距離均相等，位于兩側(cè)的所述傾斜板(12)分別與所述分流罩(3)兩側(cè)內(nèi)壁之間的距離相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述輸送構(gòu)件(2)包括四個支撐板(21)和安裝座(26)，位于左側(cè)的兩個支撐板(21)和位于右側(cè)的兩個支撐板(21)相對面上部均通過軸承座轉(zhuǎn)動連接有軸桿(23)，且每個軸桿(23)外表面均固定安裝有傳動輥(22)，位于一側(cè)的所述軸桿(23)的一端貫穿支撐板(21)延伸伺服電機(28)上方并固定安裝有第一皮帶輪，所述安裝座(26)上端固定安裝有伺服電機(28)，所述伺服電機(28)的輸出端通過傳動軸固定連接有第二皮帶輪，且第二皮帶輪和第一皮帶輪之間共同纏繞安裝有傳動皮帶(27)，兩個所述傳動輥(22)之間共同纏繞安裝有輸送帶(24)，所述輸送帶(24)的外表面等距固定安裝有若干個固定件(25)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述輸送帶(24)外表面位于相鄰兩個固定件(25)之間均開設(shè)有穿通的矩形通風(fēng)槽(29)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述固定件(25)包括固定板(251)，所述固定板(251)靠近輸送帶(24)的一端對稱固定安裝有兩個連接柱(252)，兩個所述連接柱(252)遠離固定板(251)的一端均固定連接在輸送帶(24)外表面，所述固定板(251)遠離輸送帶(24)的一端中部固定安裝有固定座(253)，且固定座(253)的前后兩端均對稱固定安裝有兩個限位板(254)，位于前方的兩個限位板(254)和位于后方的兩個所述限位板(254)之間均滑動連接有一個夾具(256)，且每個夾具(256)與固定座(253)之間均共同固定連接有螺旋彈簧(255)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述夾具(256)包括滑塊(2561)，所述螺旋彈簧(255)與滑塊(2561)固定連接，所述滑塊(2561)上端固定安裝有夾塊(2562)，所述夾塊(2562)靠近固定座(253)的一側(cè)開設(shè)有夾槽(2563)，所述夾槽(2563)內(nèi)腔側(cè)壁和底壁均通過強力粘合劑固定連接有硅膠軟墊(2564)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片烘烤用加熱裝置，其特征在于：所述螺旋彈簧(255)始終處于伸長狀態(tài)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
