[發明專利]一種堿性銅蝕刻液及其生產工藝有效
| 申請號： | 202110377898.4 | 申請日： | 2021-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN113088974B | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發明（設計）人： | 黃光耀;張強;葉劍華;黃文巨;黎才淵 | 申請（專利權）人： | 廣東連發助劑廠有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/34 | 分類號： | C23F1/34 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 姚啟政 |
| 地址： | 529337 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 堿性 蝕刻 及其 生產工藝 | ||
1.一種堿性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1，稱取水、碳酸氫銨以及氯化銨并進行初步混合，得到混合物；
步驟2，將液氨加入所述混合物中，邊攪拌邊加液氨，得到半成品；
步驟3，對所述半成品進行堿度以及氯離子含量檢測；
步驟4，如果檢測結果合格，則直接進行包裝得到所述堿性銅蝕刻液；如果檢測結果不合格，則根據檢測結果進行調試后，再次進行步驟3，直至檢測結果合格為止，得到所述堿性銅蝕刻液；
其中，檢測結果不合格的情況包括堿度過低情況、氯離子含量過低情況、以及堿度過高或氯離子含量過高情況；
所述氯離子含量過低情況為所述半成品的氯離子含量低于要求時，添加氯化鉀或者氯化鈉或兩者的組合物對檢測不及格的所述半成品進行氯離子含量調節。
2.根據權利要求1所述的一種堿性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于：所述堿度過低情況為所述半成品的堿度低于要求時，添加液氨對檢測不及格的所述半成品進行堿度調節。
3.根據權利要求1所述的一種堿性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于：所述堿度過高或氯離子含量過高情況為所述半成品的氯離子含量或者堿度高于要求時，添加水對檢測不及格的所述半成品的氯離子含量或堿度進行調節。
4.根據權利要求1所述的一種堿性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于：所述步驟2中，攪拌速度為10-30r/min，攪拌時間為30-90min。
5.根據權利要求4所述的一種堿性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于：所述步驟2中，攪拌速度為15-25r/min，攪拌時間為40-60min。
6.一種堿性銅蝕刻液，其特征在于，通過權利要求1-5任一權項所述的生產工藝制得，是含有氯化銨、碳酸氫氨以及氨的水溶液，其中，氯化銨的質量濃度為240-340g/L，碳酸氫銨的質量濃度為10-50g/L，氨的質量濃度為50-120g/L。
7.根據權利要求6所述的一種堿性銅蝕刻液，其特征在于：所述堿性銅蝕刻液中氯化銨的質量濃度為260-320g/L，碳酸氫銨的質量濃度為20-40g/L，氨的質量濃度為60-110g/L。
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