[發明專利]一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法

在審

• 申請號: 202110376327.9
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN113072306A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 劉芳;趙寶勤;蓋炳凱;祁亞琴;于婷
• 申請（專利權）人: 煙臺遠東精細化工有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 煙臺雙聯專利事務所(普通合伙) 37225
• 代理人: 王娟

1.一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法，其特征在于其具體步驟如下：

（1）將內襯聚四氟乙烯涂層的混合酸配制罐用純水洗凈；將電子級氫氟酸輸送至氫氟酸計量罐，計量備用；將電子級濃硝酸輸送至硝酸計量罐，計量備用；將無機酸輸送至無機酸計量罐，計量備用；將有機酸輸送至有機酸計量罐，計量備用；所述的無機酸為濃硫酸或磷酸中的至少一種，所述的有機酸為乙酸、過氧乙酸、甲酸、丙酸中的一種；各組份的質量配比為：電子級氫氟酸 : 電子級濃硝酸: 無機酸: 有機酸=1 : 1~4.5 : 0~5.0 : 0~1.5；

（2）首先，向混合酸配制罐中，用耐腐蝕泵打入電子級氫氟酸，同時打開攪拌機；

（3）再向混合酸配制罐中，用另一耐腐蝕泵打入電子級濃硝酸，攪拌均勻，制成混合酸；

（4）在上述混合酸的基礎上，再有選擇地加入無機酸以及有機酸，混合攪拌均勻，取樣化驗，將合格的混合酸放入混合酸儲罐中待售。

2.根據權利要求1所述的一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法，其特征在于所述的電子級氫氟酸的質量濃度為48.5%~49.5%，所述的電子級濃硝酸的質量濃度為68.5%~70.5%。

3.根據權利要求1所述的一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法，其特征在于所述的磷酸與電子級氫氟酸的質量配比為0~4.0:1。

4.根據權利要求1所述的一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法，其特征在于所述的濃硫酸與電子級氫氟酸的質量配比為0~1.0:1。

5.根據權利要求1所述的一種電子級混合酸蝕刻液的制備方法，其特征在于所述的濃硫酸、磷酸、乙酸、過氧乙酸、甲酸、丙酸均為化學試劑分析純以上級別。