[發明專利]一種真空感應化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 202110372054.0
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN113106428B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 于方;張建宏;周國達;王姍姍;郭秋艷;孟爽;劉鐸;曹月
• 申請（專利權）人: 錦州同創真空冶金科技有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/52;C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王富強

1.一種真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：包括爐體、真空系統和充氣系統，所述爐體內設置有加熱室，所述加熱室外側設置有感應加熱裝置，所述加熱室內設置有沉積室，所述沉積室與所述充氣系統連通，所述加熱室與所述爐體之間為真空室，所述加熱室和所述真空室分別通過管路與所述真空系統連通；

所述加熱室包括發熱體，所述發熱體包括發熱筒、設置在所述發熱筒上端的發熱蓋和發熱管，所述發熱蓋通過所述發熱管與所述真空系統連通，所述發熱管位于所述真空室中，所述發熱筒的下端設置有料盤結構；

所述發熱筒、所述發熱蓋和所述料盤結構的外側均設置有保溫結構，所述保溫結構的外側設置有所述感應加熱裝置；

所述發熱體內設置有料筒，所述料筒的上端設置有蓋板，所述蓋板與所述料筒之間設置有間隙，所述料盤結構設置在所述料筒的下端，所述料筒、所述蓋板和所述料盤結構形成所述沉積室。

2.根據權利要求1所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述發熱蓋呈錐形。

3.根據權利要求2所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述發熱筒和所述發熱蓋外側的所述保溫結構為保溫碳氈，所述料盤結構外側的所述保溫結構為保溫碳氈和高鋁磚；所述感應加熱裝置為感應線圈。

4.根據權利要求2或3所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述料盤結構包括自上而下依次設置的載料盤和若干墊板，所述載料盤用于承載爐料，所述載料盤與所述墊板之間、相鄰的所述墊板之間均設置有間隙，所述載料盤上設置有若干通孔，各所述墊板上開設有若干進氣孔，相鄰的所述墊板上的所述進氣孔錯位設置，所述通孔、所述進氣孔、所述載料盤與所述墊板之間的間隙及相鄰的所述墊板之間的間隙形成進氣通道，所述充氣系統與最下端的所述墊板上的所述進氣孔連通。

5.根據權利要求2所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述真空感應化學氣相沉積爐還包括進出料機構，所述料盤結構設置在所述進出料機構上，所述進出料機構包括底盤車，所述底盤車通過導向塊與豎向設置的絲杠連接，所述絲杠與電機傳動連接，所述導向塊與所述底盤車沿水平方向滑動連接，所述底盤車的底部設置有滾輪，所述滾輪與底架底部的導軌相匹配。

6.根據權利要求5所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述底盤車上穿設有進氣導管，所述進氣導管的一端與所述沉積室連通，所述進氣導管的另一端與所述充氣系統連通，所述進氣導管內設置有直通管，所述直通管的一端伸入所述沉積室中，所述直通管的另一端與所述充氣系統連通。

7.根據權利要求1所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述充氣系統包括混氣罐，所述混氣罐內設置有混氣裝置，所述混氣罐上連接有若干進氣管路和壓力表，所述壓力表用于測量所述混氣罐內的壓力，各所述進氣管路上均設置有質量流量計和進氣閥門，所述混氣罐通過出氣管路與所述沉積室連通，所述出氣管路上設置有加熱裝置和第一閥門；

所述出氣管路上并聯有旁路，所述旁路的兩端與所述第一閥門兩端的所述出氣管路連通，所述旁路上設置有第二閥門。

8.根據權利要求1所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述真空系統包括真空泵、第一管路和第二管路，所述第一管路和所述第二管路上均設置有真空閥門，所述真空泵通過所述第一管路與所述真空室連通，所述真空泵通過所述第二管路與所述沉積室連通，所述第二管路上還設置有過濾器，所述過濾器位于所述真空閥門與所述沉積室之間，所述過濾器包括雙層異目數的過濾網。

9.根據權利要求1所述的真空感應化學氣相沉積爐，其特征在于：所述真空感應化學氣相沉積爐還包括冷卻系統，所述冷卻系統分別與所述爐體的第一冷卻結構、所述感應加熱裝置的第二冷卻結構和所述真空系統的第三冷卻結構連通。