[發(fā)明專(zhuān)利]顯示裝置的制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110372007.6 | 申請(qǐng)日: | 2021-04-07 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN113539804A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-10-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陸瑾宇 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/268 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/268;H01L27/32;B23K26/00 |
| 代理公司: | 北京鉦霖知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11722 | 代理人: | 李英艷;玉昌峰 |
| 地址: | 韓國(guó)京畿*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 顯示裝置 制造 方法 | ||
1.一種顯示裝置的制造方法,其特征在于,包括:
提供包括具有第一疊層結(jié)構(gòu)的第一區(qū)域以及具有與所述第一疊層結(jié)構(gòu)不同的第二疊層結(jié)構(gòu)的第二區(qū)域的作業(yè)面板的步驟;以及
利用激光單元向所述作業(yè)面板照射激光束以使得形成與包括所述第一區(qū)域的局部和所述第二區(qū)域的局部的顯示裝置區(qū)域?qū)?yīng)的光束照射線的步驟,
照射所述激光束的步驟包括:
以所述激光單元的第一驅(qū)動(dòng)條件照射激光束以使得形成與所述第一區(qū)域?qū)?yīng)的所述光束照射線的第一部分的第一照射步驟;
在所述第一照射步驟之后,停止激光單元的驅(qū)動(dòng)并改變所述激光單元的驅(qū)動(dòng)條件的第一中止步驟;以及
所述第一中止步驟之后,以與所述第一驅(qū)動(dòng)條件不同的所述激光單元的第二驅(qū)動(dòng)條件照射激光束以使得形成與所述第二區(qū)域?qū)?yīng)的所述光束照射線的第二部分的第二照射步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述光束照射線包括閉環(huán)形狀的部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述光束照射線包括曲線形狀的部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述曲線形狀的部分是與所述第一部分相鄰的所述第二部分的局部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述第一中止步驟是1μs至500μs。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述作業(yè)面板包括與所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域重疊的顯示面板、與所述第一區(qū)域重疊的偏光膜以及與所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域重疊的保護(hù)膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述作業(yè)面板還包括具有與所述第一疊層結(jié)構(gòu)及所述第二疊層結(jié)構(gòu)不同的第三疊層結(jié)構(gòu)的第三區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述作業(yè)面板還包括具有與所述第一疊層結(jié)構(gòu)及所述第二疊層結(jié)構(gòu)不同的第三疊層結(jié)構(gòu)的第三區(qū)域,
所述顯示面板以及所述保護(hù)膜各自還與所述第三區(qū)域重疊,
在與所述第二區(qū)域重疊的所述保護(hù)膜的一部分中界定有槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述作業(yè)面板還包括具有與所述第一疊層結(jié)構(gòu)及所述第二疊層結(jié)構(gòu)不同的第三疊層結(jié)構(gòu)的第三區(qū)域,
所述顯示裝置的制造方法還包括:
在向所述第二區(qū)域照射激光束的步驟之后,停止激光單元的驅(qū)動(dòng)并改變所述激光單元的驅(qū)動(dòng)條件的第二中止步驟;以及
在所述第二中止步驟之后,以與所述第一驅(qū)動(dòng)條件以及所述第二驅(qū)動(dòng)條件不同的第三驅(qū)動(dòng)條件照射激光束以使得形成與所述第三區(qū)域?qū)?yīng)的所述光束照射線的第三部分的第三照射步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述第一驅(qū)動(dòng)條件和所述第二驅(qū)動(dòng)條件是所述激光單元的頻率、能量以及移動(dòng)速度中的至少任一個(gè)不同。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示裝置的制造方法,其特征在于,
所述第一驅(qū)動(dòng)條件和所述第二驅(qū)動(dòng)條件是所述激光單元的所述頻率以及所述移動(dòng)速度彼此相同,
所述第一驅(qū)動(dòng)條件和所述第二驅(qū)動(dòng)條件是所述激光單元的所述能量不同。
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H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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