[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體晶圓平整度檢測(cè)設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110370020.8
• 申請(qǐng)日: 2021-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113074626A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣紅光;張旭東;王曉飛;徐鑫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 嘉興微拓電子科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B7/34
• 分類(lèi)號(hào): G01B7/34
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31227
• 代理人: 汪文芹

1.一種半導(dǎo)體晶圓平整度檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

支承裝配組件，該支承裝配組件中具有安裝空間；

晶圓存儲(chǔ)組件，該晶圓存儲(chǔ)組件安裝于支承裝配組件上，其內(nèi)部具有放置晶圓片的空間；

橫向承載組件，該橫向承載組件安裝于支承裝配組件上，并與晶圓存儲(chǔ)組件位置對(duì)應(yīng)；

晶圓移送組件，該晶圓移送組件安裝于橫向承載組件上，可在橫向承載組件上沿橫向移動(dòng)，由晶圓移送組件對(duì)晶圓存儲(chǔ)組件內(nèi)的晶圓片進(jìn)行抓取并移送；

對(duì)中調(diào)節(jié)組件，該對(duì)中調(diào)節(jié)組件安裝于支承裝配組件上，并與晶圓移送組件配合，由對(duì)中調(diào)節(jié)組件對(duì)晶圓移送組件攜帶的晶圓片進(jìn)行對(duì)中調(diào)節(jié)；

距離檢測(cè)組件，該距離檢測(cè)組件安裝于支承裝配組件上，并與晶圓移送組件配合，由晶圓移送組件將晶圓片送至距離檢測(cè)組件中進(jìn)行檢測(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓平整度檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，支承裝配組件包括：

支承框架，該支承框架內(nèi)部具有裝配臺(tái)面，晶圓存儲(chǔ)組件安裝于支承框架外壁，橫向承載組件、晶圓移送組件、對(duì)中調(diào)節(jié)組件及距離檢測(cè)組件安裝于裝配臺(tái)面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓平整度檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，晶圓存儲(chǔ)組件包括：

存儲(chǔ)盒體，該存儲(chǔ)盒體設(shè)有一組，各存儲(chǔ)盒體分別安裝于支承框架外壁，并沿橫向順次排布，各存儲(chǔ)盒體內(nèi)分別具有晶圓片定位結(jié)構(gòu)，待檢測(cè)晶圓片放置于存儲(chǔ)盒體內(nèi)，支承框架中開(kāi)設(shè)有一組取放通口，各取放通口分別與存儲(chǔ)盒體位置對(duì)應(yīng)；

解鎖裝置，該解鎖裝置與存儲(chǔ)盒體配合，由解鎖裝置對(duì)存儲(chǔ)盒體進(jìn)行解鎖操作。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體晶圓平整度檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，解鎖裝置包括：

解鎖框架，該解鎖框架中具有安裝空間；

裝配臺(tái)面，該裝配臺(tái)面安裝于解鎖框架頂部；

轉(zhuǎn)接背板，該轉(zhuǎn)接背板安裝于解鎖框架的背部，其上段向支撐框架上方伸出，轉(zhuǎn)接背板中開(kāi)設(shè)有取片通口；

升降電機(jī)，該升降電機(jī)安裝于解鎖框架上，并位于裝配臺(tái)面下方；

傳動(dòng)絲桿，該傳動(dòng)絲桿位于裝配臺(tái)面下方，并沿豎向放置，升降電機(jī)的動(dòng)力輸出軸與傳動(dòng)絲桿連接；

導(dǎo)向滑軌，該導(dǎo)向滑軌設(shè)有一對(duì)，各導(dǎo)向滑軌分別安裝于解鎖框架上，并與傳動(dòng)絲桿相互平行；

轉(zhuǎn)接架體，該轉(zhuǎn)接架體位于裝配臺(tái)面下方，其兩端分別通過(guò)導(dǎo)向滑塊安裝于導(dǎo)向滑軌上，其中部通過(guò)傳動(dòng)螺母與傳動(dòng)絲桿配合；

豎向立柱，該豎向立柱設(shè)有一組，各豎向立柱分別安裝于轉(zhuǎn)接架體上，并貫穿裝配臺(tái)面向上方伸出；

支承環(huán)圈，該支承環(huán)圈安裝于豎向立柱頂部；

限位側(cè)條，該限位側(cè)條設(shè)有一對(duì)，各限位側(cè)條安裝于支承環(huán)圈上，并分列于支承環(huán)圈兩端；

橫移電機(jī)，該橫移電機(jī)安裝于裝配臺(tái)面上；

支承平臺(tái)，該支承平臺(tái)通過(guò)橫向?qū)蚪Y(jié)構(gòu)安裝于裝配臺(tái)面上，并通過(guò)絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與橫移電機(jī)的動(dòng)力輸出軸連接。