[發(fā)明專利]一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊及生產(chǎn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110369044.1
• 申請日: 2021-04-06
• 公開（公告）號: CN113146465B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李加海;譚鴻
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽禾臣新材料有限公司
• 主分類號: B24B37/28
• 分類號: B24B37/28;B32B37/12
• 代理公司: 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11621
• 代理人: 李照

1.一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊，包括吸附墊主體(1)，其特征在于：所述吸附墊主體(1)的上下表面均通過膠層連接有第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)，吸附墊主體(1)的中心開設(shè)有中心凹槽(11)，中心凹槽(11)內(nèi)卡合連接有橡膠氣囊(4)，中心凹槽(11)的一周等距離的開設(shè)有導(dǎo)通槽(12)，導(dǎo)通槽(12)的一端開設(shè)有第一吸附孔(13)，所述第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)的表面呈環(huán)形開設(shè)有第二吸附孔(21)，第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)的中心均開設(shè)有錐形孔(22)，所述橡膠氣囊(4)包括中心控制氣囊(41)、連通氣囊(42)和夾持氣囊(43)，中心控制氣囊(41)與中心凹槽(11)卡合連接，橡膠中心控制氣囊(41)的一周等距離的連接有連通氣囊(42)，連通氣囊(42)與導(dǎo)通槽(12)卡合連接，連通氣囊(42)的一端與夾持氣囊(43)卡合連接；

所述中心控制氣囊(41)的上下表面對稱連接有錐形塊(411)，錐形塊(411)為環(huán)氧樹脂材料制成的構(gòu)件，錐形塊(411)靠近中心控制氣囊(41)的一端分別與錐形孔(22)活動連接，中心控制氣囊(41)的內(nèi)部設(shè)置有等距離分布的韌性橡膠柱(412)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊，其特征在于：所述第一環(huán)氧樹脂層(2)上表面距離第二環(huán)氧樹脂層(3)下表面的高度小于薄型晶片的厚度。

3.如權(quán)利要求1所述的一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊，其特征在于：所述錐形孔(22)的一周連接有橡膠層(221)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊，其特征在于：所述中心控制氣囊(41)、連通氣囊(42)和夾持氣囊(43)的厚度相等，且中心控制氣囊(41)、連通氣囊(42)和夾持氣囊(43)的厚度與吸附墊主體(1)的厚度相同。

5.如權(quán)利要求1所述的一種薄型晶片雙面研磨用吸附墊，其特征在于：所述夾持氣囊(43)的中心開設(shè)有晶片夾持孔(431)，晶片夾持孔(431)的直徑與第二吸附孔(21)相匹配，夾持氣囊(43)的上下表面通過膠層分別與第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)粘接。

6.一種如權(quán)利要求1-5任一項所述的薄型晶片雙面研磨用吸附墊的生產(chǎn)方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在吸附墊主體(1)的中心開設(shè)中心凹槽(11)，并在中心凹槽(11)的一周的等距離的開設(shè)導(dǎo)通槽(12)，導(dǎo)通槽(12)的一端開設(shè)第一吸附孔(13)，并將中心凹槽(11)、導(dǎo)通槽(12)和第一吸附孔(13)的邊緣打磨光滑；

S2：將橡膠氣囊(4)安裝進(jìn)吸附墊主體(1)，中心控制氣囊(41)與中心凹槽(11)卡合，連通氣囊(42)與導(dǎo)通槽(12)卡合，夾持氣囊(43)與第一吸附孔(13)卡合連接；

S3：在吸附墊主體(1)、中心控制氣囊(41)和夾持氣囊(43)的上下表面刷上膠層；

S4：將第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)分別對應(yīng)吸附墊主體(1)的上下表面進(jìn)行粘接，同時將第二吸附孔(21)的圓心與第一吸附孔(13)的圓心對應(yīng)，按壓第一環(huán)氧樹脂層(2)和第二環(huán)氧樹脂層(3)，直至膠層凝固；

S5：從錐形孔(22)將錐形塊(411)與中心控制氣囊(41)的上下表面粘接，粘接時，將錐形塊(411)表面積小的一端與中心控制氣囊(41)的表面粘黏。