[發(fā)明專利]基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110365952.3
• 申請日: 2021-04-06
• 公開（公告）號: CN112802783B
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權(quán)）人: 亞電科技南京有限公司;江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14;B08B1/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：包括沖刷裝置（100）以及安裝在所述沖刷裝置（100）上方的清洗裝置（200），所述沖刷裝置（100）包括安裝臺（110）、儲水箱（120）和安裝箱（130），所述儲水箱（120）固定在安裝臺（110）頂部的一端，所述儲水箱（120）的頂部安裝有水泵（121），所述安裝箱（130）安裝在所述安裝臺（110）頂部位于所述儲水箱（120）的一側(cè)，所述安裝箱（130）一側(cè)的內(nèi)壁連接有連接柱（131），所述連接柱（131）內(nèi)開設(shè)有流動空腔，所述連接柱（131）的一端連通有噴頭（132），所述儲水箱（120）、所述水泵（121）和所述連接柱（131）之間通過連接管（122）相互連通，所述清洗裝置（200）至少包括：

固定機構(gòu)（210），所述固定機構(gòu)（210）包括安裝在所述儲水箱（120）頂部的負壓機（211）和安裝在所述安裝箱（130）頂部的第一電機（217），所述負壓機（211）的進氣口連通有通風(fēng)管（212），所述通風(fēng)管（212）的一端連通有通風(fēng)環(huán)（213），所述通風(fēng)環(huán)（213）的一端固定在所述安裝箱（130）底部的內(nèi)壁，所述通風(fēng)環(huán)（213）的另一端轉(zhuǎn)動連接有固定臺（214），所述固定臺（214）內(nèi)開設(shè)有氣體空腔，所述固定臺（214）的頂部開設(shè)有若干穿孔（215），所述穿孔（215）、所述氣體空腔和所述通風(fēng)環(huán)（213）之間相互連通，所述固定臺（214）外壁固定連接有傳動齒輪（216），所述第一電機（217）的輸出軸一端固定連接有轉(zhuǎn)動齒輪（218）并與所述傳動齒輪（216）嚙合；

擦拭機構(gòu)（220），所述擦拭機構(gòu)（220）包括安裝在安裝臺（110）頂部的第二電機（221）和滑板（223），所述第二電機（221）的輸出軸一端固定連接有圓盤（222），所述滑板（223）側(cè)邊滑動連接有方板（224），所述方板（224）的表面開設(shè)有板槽（225），所述板槽（225）內(nèi)設(shè)置有與所述圓盤（222）相嚙合的聯(lián)動齒輪，所述方板（224）的一側(cè)安裝有毛刷（226），所述毛刷（226）位于所述固定臺（214）的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述安裝箱（130）四周的內(nèi)壁固定連接有擋板（140），所述擋板（140）與所述固定臺（214）轉(zhuǎn)動連接，所述固定臺（214）呈圓形結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述安裝箱（130）的底部內(nèi)壁設(shè)置有兩個擋環(huán)（141），兩個所述擋環(huán)（141）之間形成流水槽，用于對水的收集，兩個所述擋環(huán)（141）之間安裝有過濾板（142）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述安裝臺（110）的頂部連通有滴水管（111），所述滴水管（111）與所述安裝箱（130）相連通，所述安裝臺（110）的底部位于所述滴水管（111）的下方安裝有存水箱（112）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述安裝臺（110）的底部安裝有安置箱（113），所述安置箱（113）內(nèi)安裝有若干夾板（114），若干夾板（114）之間形成插槽，用于對晶圓的存放。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述第二電機（221）的兩側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)輪（227），所述滑板（223）的側(cè)邊開設(shè)有轉(zhuǎn)槽（228），所述轉(zhuǎn)槽（228）與所述轉(zhuǎn)輪（227）轉(zhuǎn)動連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置，其特征在于：所述第一電機（217）的外周安裝有防護罩（240），所述防護罩（240）的內(nèi)壁與外壁之間開設(shè)有填充空腔，所述填充空腔內(nèi)填充有隔音棉（241）。