[發(fā)明專利]一種極薄錸箔的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110365513.2
• 申請日: 2021-04-06
• 公開（公告）號: CN113058999B
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 扶元初;劉柳枝;楊軍;易俠;吳浪;危翔
• 申請（專利權(quán)）人: 中錸新材料有限公司
• 主分類號: B21B1/40
• 分類號: B21B1/40;B22F3/16;C23F1/30
• 代理公司: 沈陽杰克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21207
• 代理人: 金春華

1.一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

1）純錸壓坯的制備：將粒度為-100～-300目、純度4N以上的錸粉置于壓力機中，在壓力100～200Mpa下制成厚度為10mm的純錸壓坯；錸粉在壓制制坯過程中，不添加任何的添加劑，直接壓制成坯；

2）將純錸壓坯置于真空爐或高溫爐中，進行高溫?zé)Y(jié)，制備出結(jié)晶均勻的純錸板坯；

3）連續(xù)化軋制及退火：對純錸板坯采用多輥軋機和退火聯(lián)動的連續(xù)化軋制，進行連續(xù)化軋制與退火直到得到錸薄片材；

4）蝕刻減薄精軋成箔：將步驟3）獲得的錸薄片材采用化學(xué)刻蝕減薄與多輥軋機精軋并行的聯(lián)合軋制流程，最終獲得目標(biāo)產(chǎn)品極薄錸箔，所述極薄錸箔的厚度為9～11微米。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，步驟2）中，所述高溫?zé)Y(jié)是，在溫度2400℃下燒結(jié)5～8 h。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，步驟2）中，所獲得的純錸板坯的密度控制在17.8～18.3 g/cm³。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，步驟3）中，所獲得的錸薄片材的厚度為90～150微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，步驟3）中，多輥軋機為軋制力在100T～700T之間的多級軋制組合，道次變形量控制在2～10%，退火溫度1600～1900℃，退火時間為20～60min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，步驟4）中，所述化學(xué)刻蝕方法是：將錸薄片材經(jīng)噴砂處理后，再浸入硝酸或硫酸中進行腐蝕減薄。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種極薄錸箔的制造方法，其特征在于，所述硝酸或硫酸的質(zhì)量百分濃度為10～30%。