[發明專利]液晶基板玻璃翹曲度測量方法及系統

有效

• 申請號: 202110363514.3
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113155023B
• 公開（公告）日: 2023-02-07
• 發明（設計）人: 李青;李赫然;張北斗;李俊生;楊道輝;李斌;韓春林
• 申請（專利權）人: 甘肅旭盛顯示科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/16
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 肖冰濱;王曉曉

本發明提供一種液晶基板玻璃翹曲度測量方法及系統，屬于液晶基板玻璃領域。所述翹曲度測量方法包括：在承載平臺上劃定工作區域，并在工作區域內劃定測量區域；獲取工作區域面的三維坐標，所述工作區域面為零面I；基于零面I的三維坐標，確定測量鏡頭在測量區域面運動的軌跡面的三維坐標，所述軌跡面為零面III；其中所述零面III在三維空間中與零面I平行，且零面III在測量鏡頭景深H毫米范圍內，H0毫米；樣片測量過程中，規劃測量鏡頭按所述零面III的三維坐標點運動，實時采集樣片上采樣點的三維坐標；計算每一采樣點到零面III的垂直距離，根據所述垂直距離計算樣片的翹曲度值。所述方法可消除零面I的機械誤差，使測量結果更準確。

技術領域

本發明涉及液晶基板玻璃領域，具體地涉及一種液晶基板玻璃翹曲度測量方法及一種液晶基板玻璃翹曲度測量系統。

背景技術

翹曲度是評價基板玻璃的一項重要指標，翹曲度的優劣直接反映了生產制程是否穩定可靠，對客戶制程工藝也有較大影響。

現有的液晶基板玻璃翹曲度測量方法不能完全排除液晶基板測量裝置00級大理石平臺面的機械誤差，不利于對翹曲度日益嚴格的要求。且實施一次翹曲度測量，需要將整板樣品測量完成后，通過對各測量點進行云計算得到翹曲度值，最后再輸出翹曲度值，而不能實時輸出翹曲度數值。

發明內容

為解決上述問題，本發明實施方式的目的是提供一種液晶基板玻璃翹曲度測量方法及系統。

為了實現上述目的，本發明第一方面提供一種液晶基板玻璃翹曲度測量方法，基于翹曲度測量裝置，所述翹曲度測量裝置包括承載平臺和激光測量鏡頭，所述翹曲度測量方法包括：

在承載平臺上劃定工作區域，并在工作區域內劃定測量區域；

獲取工作區域面的三維坐標，所述工作區域面為零面I；

基于零面I的三維坐標，確定測量鏡頭在測量區域面運動的軌跡面的三維坐標，所述軌跡面為零面III；其中所述零面III在三維空間中與零面I平行，且零面III在測量鏡頭景深H毫米范圍內，H0毫米；

樣片測量過程中，規劃測量鏡頭按所述零面III的三維坐標點運動，實時采集樣片上采樣點的三維坐標；

計算每一采樣點到零面III的垂直距離，根據所述垂直距離計算樣片的翹曲度值。

可選的，所述基于零面I的三維坐標，確定測量鏡頭在測量區域面運動的軌跡面的三維坐標，所述軌跡面為零面III，包括：

以測量裝置的機械原點作為機械零點，建立機械坐標系；

以機械坐標系為基準，建立第一坐標系和第二坐標系，所述第一坐標系和第二坐標系為相對坐標系；

根據所述第一坐標系和第二坐標系在機械坐標系中的位置，建立第一坐標系與第二坐標系的對應關系；

以第一坐標系為測量坐標系，獲取零面I在第一坐標系中的三維坐標；

以所述零面I的三維坐標及第一坐標系與第二坐標系的對應關系，計算零面I在第二坐標系中的三維坐標；

將所述零面I在第二坐標系中的所有坐標點，在Z軸方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐標系中的三維坐標，其中e0毫米。

可選的，所述機械坐標系、第一坐標系和第二坐標系的對應關系包括：

將所述機械坐標系定義為(x,y,z)，第一坐標系定義為(x1,y1,z1)，第二坐標系定義為(X,Y,Z)，所述第一坐標系與機械坐標系的對應關系為：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐標系與機械坐標系的對應關系為(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；