[發明專利]液晶基板玻璃翹曲度測量方法及系統

有效

• 申請號: 202110363514.3
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113155023B
• 公開（公告）日: 2023-02-07
• 發明（設計）人: 李青;李赫然;張北斗;李俊生;楊道輝;李斌;韓春林
• 申請（專利權）人: 甘肅旭盛顯示科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/16
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 肖冰濱;王曉曉

1.一種液晶基板玻璃翹曲度測量方法，基于翹曲度測量裝置，所述翹曲度測量裝置包括承載平臺和激光測量鏡頭，其特征在于，所述翹曲度測量方法包括：

在承載平臺上劃定工作區域，并在工作區域內劃定測量區域；

獲取工作區域面的三維坐標，所述工作區域面為零面I；

基于零面I的三維坐標，確定測量鏡頭在測量區域面運動的軌跡面的三維坐標，所述軌跡面為零面III；其中所述零面III在三維空間中與零面I平行，且零面III在測量鏡頭景深H毫米范圍內，H0毫米；

樣片測量過程中，規劃測量鏡頭按所述零面III的三維坐標點運動，實時采集樣片上采樣點的三維坐標；

計算每一采樣點到零面III的垂直距離，根據所述垂直距離計算樣片的翹曲度值；

所述基于零面I的三維坐標，確定測量鏡頭在測量區域面運動的軌跡面的三維坐標，所述軌跡面為零面III，包括：

以測量裝置的機械原點作為機械零點，建立機械坐標系；

以機械坐標系為基準，建立第一坐標系和第二坐標系，所述第一坐標系和第二坐標系為相對坐標系；

根據所述第一坐標系和第二坐標系在機械坐標系中的位置，建立第一坐標系與第二坐標系的對應關系；

以第一坐標系為測量坐標系，獲取零面I在第一坐標系中的三維坐標；

以所述零面I的三維坐標及第一坐標系與第二坐標系的對應關系，計算零面I在第二坐標系中的三維坐標；

將所述零面I在第二坐標系中的所有坐標點，在Z軸方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐標系中的三維坐標，其中e0毫米。

2.根據權利要求1所述的翹曲度測量方法，其特征在于，所述機械坐標系、第一坐標系和第二坐標系的對應關系包括：

將所述機械坐標系定義為(x,y,z)，第一坐標系定義為(x1,y1,z1)，第二坐標系定義為(X,Y,Z)，所述第一坐標系與機械坐標系的對應關系為：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐標系與機械坐標系的對應關系為(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；

根據第一坐標系與機械坐標系的對應關系和第二坐標系與機械坐標系的對應關系，計算第一坐標系與第二坐標系的對應關系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；

計算零面III在第二坐標系中的三維坐標與零面I在第一坐標系中的三維坐標的對應關系為：(X_III,Y_III,Z_III)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；

其中，c≥a，d≥b，f≥0。

3.根據權利要求2所述的翹曲度測量方法，其特征在于，所述規劃測量鏡頭按所述零面III的三維坐標點運動，實時采集樣片上采樣點的三維坐標，包括：

在測量鏡頭按所述零面III的三維坐標點運動過程中，以第二坐標系為測量坐標系，分別以X軸和Y軸L毫米為間距，拾取樣片上采樣點的三維坐標；

所述計算每一采樣點到零面III的垂直距離，包括：

對于每一采樣點，根據該采樣點的三維坐標和零面III對應點的三維坐標，計算該采樣點與對應點在Z軸方向的距離W_i，其中，L≥1毫米。

4.根據權利要求3所述的翹曲度測量方法，其特征在于，所述根據垂直距離計算樣片的翹曲度值，包括：

在樣片測量完成后，根據樣片上所有采樣點到零面III的垂直距離，計算樣片的翹曲度值；或

在樣片測量過程中，根據樣片上已測區域內的采樣點到零面III的垂直距離，實時計算樣片上已測區域的翹曲度值，將樣片測量完成時計算得到的翹曲度值作為樣片的翹曲度值。