[發(fā)明專利]一種自動晶圓傳片器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110363056.3
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN114284187A
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設計）人: 段克波
• 申請（專利權）人: 博福特（廈門）新材料有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 福州順升知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 35242
• 代理人: 黃勇亮

1.一種自動晶圓傳片器，其特征在于：包括設備箱體(1)和兩組卡匣(2)，一組所述卡匣(2)內(nèi)裝有晶圓片，另一組卡匣(2)為空卡匣，所述設備箱體(1)頂部設置有兩組卡匣定位結(jié)構(3)，且兩組卡匣(2)分別通過卡匣定位結(jié)構(3)安裝在設備箱體(1)頂部；

所述設備箱體(1)頂部設置有檢測機構(4)，所述檢測機構(4)用于檢測裝有晶圓片的卡匣(2)內(nèi)晶圓片的朝向；

所述設備箱體(1)頂部設置有推料機構(5)，所述推料機構(5)用于將裝有晶圓片的卡匣(2)內(nèi)的晶圓片傳送至另一組空卡匣(2)內(nèi)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述卡匣定位結(jié)構(3)包括兩組定位凸條(31)和兩組限位塊(32)，兩組所述定位凸條(31)和兩組限位塊(32)均對稱設置在設備箱體(1)頂部，且兩組限位塊(32)位于兩組定位凸條(31)外側(cè)并設有間隙，所述定位凸條(31)頂部開設有限位槽(33)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述卡匣(2)底部設置有與限位槽(33)相互配合的筋條(21)，所述卡匣(2)底部對稱設置兩組平邊(22)，且兩組平邊(22)分別卡入到定位凸條(31)與限位塊(32)之間的間隙內(nèi)。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述卡匣定位結(jié)構(3)還包括可伸縮的定位圓柱(34)，且定位圓柱(34)底部設置有壓力傳感器，所述定位圓柱(34)位于兩組定位凸條(31)之間，且定位圓柱(34)與兩組限位槽(33)位于同一直線上。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述檢測機構(4)包括紅外發(fā)射器(41)和紅外接收器(42)，所述設備箱體(1)頂部開設有安裝槽，所述紅外發(fā)射器(41)設置在安裝槽內(nèi)并位于卡匣(2)一端下方，所述紅外接收器(42)位于紅外發(fā)射器(41)正上方并位于卡匣(2)上方。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述檢測機構(4)還包括兩組平行設置的安裝柱(43)，兩組所述安裝柱(43)之間固接有安裝塊(44)，且安裝塊(44)安裝有紅外接收器(42)。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述推料機構(5)包括驅(qū)動組件、連接桿(51)和L型推桿(52)，所述驅(qū)動組件設置在設備箱體(1)內(nèi)部，所述連接桿(51)與驅(qū)動組件相連接，所述連接桿(51)遠離驅(qū)動組件的一端連接有L型推桿(52)，且L型推桿(52)一端朝向卡匣(2)，所述L型推桿(52)朝向卡匣(2)的一端安裝有橡膠柱(53)。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種自動晶圓傳片器，其特征在于：所述驅(qū)動組件上設置有阻力感應器。