[發明專利]一種外延膜生長設備及分離方法

在審

• 申請號: 202110362396.4
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN112967958A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 王會會;林保璋;金補哲;田才忠
• 申請（專利權）人: 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16B33/06;F16B35/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 倪鑫萍;謝緒寧

本發明公開了一種外延膜生長設備及分離方法，在外延膜生長設備的金屬夾環與金屬基板之間，設置分離銷裝置，分離銷包括至少兩個帶有螺絲的連接件，連接件貫穿金屬夾環，連接件的頂端抵接在金屬基板表面，利用分離銷的反向力，分離金屬夾環與石英件，在金屬夾環與石英件分離后，移動金屬夾環，實現金屬夾環與石英件的安全分離，減少損壞石英件的幾率。

技術領域

本發明涉及芯片制造技術領域，尤其是涉及一種外延膜生長設備及分離方法。

背景技術

目前，芯片制造技術飛速發展，其中，外延生長技術發展于50年代末60年代初，為了制造高頻大功率器件，需要減小集電極串聯電阻，又要求材料能耐高壓和大電流，因此需要在低阻值襯底上生長一層薄的高阻外延層，這時外延設備便應運而生。在對外延機臺進行保養或者維修的時候，難免會碰到要打開三十多公斤的金屬環或者金屬盤，而這些金屬重物通過上密封圈與石英件連在一起的，石英件再通過下密封圈與金屬基板連接，金屬環或金屬盤與金屬基板之間的間距小于1mm，在金屬環或金屬盤上設置有8個螺絲，用于連接金屬環與金屬基板，或金屬盤與金屬基板。

在松開8個螺絲后，如果手動開啟金屬環或金屬盤，力量控制不好，會碰到下面的石英圓盤，造成石英件損壞。

因此，設計一種能夠相對輕松地分離金屬重物與石英件的外延膜生長設備，是目前亟待解決的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種外延膜生長設備及分離方法，在外延膜生長設備的金屬夾環與金屬基板之間，設置分離銷裝置，分離銷包括至少兩個帶有螺絲的連接件，連接件貫穿金屬夾環，連接件的頂端抵接在金屬基板表面，利用分離銷的反向力，分離金屬夾環與石英件，在金屬夾環與石英件分離后，移動金屬夾環，實現金屬夾環與石英件的安全分離，減少損壞石英件的幾率。

第一方面，本發明的上述發明目的通過以下技術方案得以實現：

一種外延膜生長設備，包括從上到下依次放置的金屬夾環、上石英圓盤、金屬基板，在上石英圓盤邊沿的上表面與下表面，分別設置密封裝置，用于上石英圓盤與上金屬夾環或金屬基板之間密封，還包括分離銷裝置，分離銷裝置設置在上金屬夾環上，用于將上金屬夾環整體與上石英圓盤整體分離。

本發明進一步設置為：分離銷裝置包括帶有螺紋的連接件，所述連接件上設置有螺紋，在上金屬夾環上設置內壁帶有螺紋的貫穿孔，貫穿孔內的螺紋與連接件上的螺紋匹配，貫穿孔的位置位于上石英圓盤的外側，連接件的頂端穿過貫穿孔抵接到金屬基板的上表面，用于在連接件轉動時，帶動金屬夾環上下移動。

本發明進一步設置為：在上金屬夾環上均勻設置至少兩個貫穿孔，在各貫穿孔處分別設置分離銷裝置，在各貫穿孔中設置分離銷裝置。

本發明進一步設置為：在上金屬夾環的同一直徑的兩端，分別設置一個貫穿孔，在各貫穿孔中設置分離銷裝置。

本發明進一步設置為：在上金屬夾環的相互垂直的兩個直徑，在每個直徑的兩端，分別設置一個貫穿孔，在各貫穿孔中設置分離銷裝置。

本發明進一步設置為：在連接件頂端表面或連接件全部表面上設置韌性外衣，用于防止連接件磨損金屬基板表面。

本發明進一步設置為：所述韌性外衣材料為聚四氟乙烯，以涂覆方式設置在連接件頂端部位表面或連接件全部表面。

本發明進一步設置為：連接件采用平頭螺絲。

第二方面，本發明的上述發明目的通過以下技術方案得以實現：

一種外延膜生長設備的分離方法，先將位于金屬夾環同一直徑上的第一連接件、第二連接件，分別沿同一方向轉動相同角度；再選擇與前一直徑垂直的另一直徑上的第三連接件及第四連接件，分別沿同一方向轉動相同角度，重復轉動各連接件，直至將金屬夾環整體與上石英圓盤整體分離。

與現有技術相比，本申請的有益技術效果為：