[發明專利]一種外延膜生長設備及分離方法

在審

• 申請號: 202110362396.4
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN112967958A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 王會會;林保璋;金補哲;田才忠
• 申請（專利權）人: 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16B33/06;F16B35/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 倪鑫萍;謝緒寧

1.一種外延膜生長設備，包括從上到下依次放置的上金屬夾環、上石英圓盤、金屬基板，在上石英圓盤邊沿與上金屬夾環之間設置上密封裝置，在上石英圓盤邊沿與金屬基板之間設置下密封裝置，用于上石英圓盤與上金屬夾環或金屬基板之間密封，其特征在于：還包括分離銷裝置，分離銷裝置設置在上金屬夾環上，用于將上金屬夾環整體與上石英圓盤整體分離。

2.根據權利要求1所述外延膜生長設備，其特征在于：分離銷裝置包括帶有螺紋的連接件，所述連接件表面設置有螺紋，在上金屬夾環上設置內壁帶有螺紋的貫穿孔，貫穿孔內的螺紋與連接件上的螺紋匹配，貫穿孔的位置位于上石英圓盤的外側，連接件的頂端穿過貫穿孔抵接到金屬基板的上表面，用于在連接件轉動時，帶動上金屬夾環上下移動。

3.根據權利要求2所述外延膜生長設備，其特征在于：在上金屬夾環上均勻設置至少兩個貫穿孔，在各貫穿孔處分別設置分離銷裝置。

4.根據權利要求3所述外延膜生長設備，其特征在于：在上金屬夾環的同一直徑的兩端，分別設置一個貫穿孔，在各貫穿孔中設置分離銷裝置。

5.根據權利要求4所述外延膜生長設備，其特征在于：在上金屬夾環相互垂直的兩個直徑，在每個直徑的兩端，分別設置一個貫穿孔，在各貫穿孔中設置分離銷裝置。

6.根據權利要求2所述外延膜生長設備，其特征在于：在連接件頂端部位表面或連接件表面上設置韌性外衣，用于防止連接件磨損金屬基板表面。

7.根據權利要求6所述外延膜生長設備，其特征在于：所述韌性外衣的材料為聚四氟乙烯，以涂覆方式設置在連接件頂端部位表面或連接件表面。

8.根據權利要求2所述外延膜生長設備，其特征在于：連接件采用平頭螺絲。

9.一種外延膜生長設備的分離方法，其特征在于：先將位于上金屬夾環同一直徑上的第一連接件、第二連接件，分別沿同一方向轉動相同角度；再選擇與前一直徑垂直的另一直徑上的第三連接件及第四連接件，分別沿同一方向轉動相同角度，重復轉動各連接件，直至將上金屬夾環整體與上石英圓盤整體分離。