[發明專利]曝光對準的補償方法及補償系統

有效

• 申請號: 202110362010.X
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113093485B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 張勝安;趙磊
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 史治法

1.一種曝光對準的補償方法，其特征在于，包括：

獲取對準圖形的原始數據，所述原始數據包括第一正弦波及第二正弦波，所述第一正弦波與所述第二正弦波具有唯一的第一重合點，所述第一重合點對應所述原始數據中所述對準圖形的波形中心；

對所述原始數據進行求導處理，以得到求導數據；

在所述曝光對準存在偏差時，基于所述原始數據及所述求導數據得到補償值；

基于所述補償值對曝光對準進行補償。

2.根據權利要求1所述的曝光對準的補償方法，其特征在于，所述對準圖形各點的所述原始數據及各點的所述求導數據均為矢量。

3.根據權利要求2所述的曝光對準的補償方法，其特征在于，所述基于所述原始數據及所述求導數據得到補償值包括：

將所述原始數據拆分為X分量及Y分量，以得到第一數據；

將所述求導數據拆分為X方向的分量及Y方向的分量，以得到第二數據；

基于所述第一數據及所述第二數據得到所述補償值。

4.根據權利要求3所述的曝光對準的補償方法，其特征在于，

所述對所述原始數據進行求導處理，以得到求導數據包括：

對所述原始數據進行一階求導，得到一階求導數據作為所述求導數據；

所述第一數據包括：所述原始數據在X方向的平移量TRX、所述原始數據在Y方向的平移量TRY、所述原始數據的旋轉量GRX、所述原始數據的正交量NOGR、所述原始數據在X方向的放大量GMX、所述原始數據在Y方向的放大量GMY、所述原始數據在以晶圓的中心為原點的坐標系中X方向的坐標量CFX及所述原始數據在以晶圓的中心為原點的坐標系中Y方向的坐標量CFY；

所述第二數據包括：所述一階求導數據在X方向的平移量TRX’、所述一階求導數據在Y方向的平移量TRY’、所述一階求導數據的旋轉量GRX’、所述一階求導數據的正交量NOGR’、所述一階求導數據在X方向的放大量GMX’、所述一階求導數據在Y方向的放大量GMY’、所述一階求導數據在以晶圓的中心為原點的坐標系中X方向的坐標量CFX’及所述一階求導數據在以晶圓的中心為原點的坐標系中Y方向的坐標量CFY’；

所述基于所述第一數據及所述第二數據得到所述補償值包括：

基于如下公式分別得到所述原始數據在X方向的偏移量Shift X、所述原始數據在Y方向的偏移量Shift Y、所述一階求導數據在X方向的偏移量Shift X’及所述一階求導數據在Y方向的偏移量Shift Y’：

Shift_X＝(TRX)+(-GRX*CFY)+(-NOGR*CFY)+(GMX*CFX)；

Shift_Y＝(TRY)+(GRX*CFX)+(GMY*CFY)；

Shift_X’＝(TRX’)+(-GRX’*CFY’)+(-NOGR’*CFY’)+(GMX’*CFX’)；

Shift_Y’＝(TRY’)+(GRX’*CFX’)+(GMY’*CFY’)；

基于所述原始數據在X方向的偏移量Shift X及所述一階求導數據在X方向的偏移量Shift X’得到X方向的總偏移量，基于所述原始數據在Y方向的偏移量Shift Y及所述一階求導數據在Y方向的偏移量Shift Y’得到Y方向的總偏移量；

基于X方向的總偏移量及Y方向的總偏移量得到所述補償值。