[發(fā)明專利]流體控制裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110360803.8
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113513613A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 赤土和也
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: F16K11/10
• 分類號: F16K11/10;F16K37/00;H01L21/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

1.一種流體控制裝置，其特征在于，包括：

塊件，沿著長邊方向以預(yù)定寬度延伸；

內(nèi)部流道，形成在所述塊件內(nèi)，沿著所述長邊方向延伸；

第一控制閥，安裝于所述塊件；以及

第二控制閥，安裝于比所述第一控制閥更靠下游側(cè)，

所述內(nèi)部流道包括：

第一流出流道，與使流體從所述第一控制閥流出的第一流出口連接；以及

第二流入流道，與使流體流入所述第二控制閥的第二流入口連接，

在沿著寬度方向透視所述塊件的情況下，所述第一流出流道與所述第二流入流道配置成重疊在一點。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述塊件包括：

安裝面，用于安裝流體控制設(shè)備；以及

突出部，相對于所述安裝面突出預(yù)定量，

所述第一控制閥和所述第二控制閥中的任意一方安裝于所述安裝面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體控制裝置，其特征在于，所述第二控制閥設(shè)置于所述突出部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述第一控制閥具備第一閥塊件，所述第一閥塊件形成有與所述塊件的表面接觸的第一接觸面，使流體流入所述第一閥塊件的第一流入口和使流體從所述第一閥塊件流出的所述第一流出口在所述第一接觸面開口，

所述第二控制閥具備第二閥塊件，所述第二閥塊件形成有與所述塊件的表面接觸的第二接觸面，使流體流入所述第二閥塊件的所述第二流入口和使流體從所述第二閥塊件流出的第二流出口在所述第二接觸面開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，所述第一控制閥和所述第二控制閥具有與所述塊件相同的寬度尺寸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述內(nèi)部流道還包括：

合流后流道，使經(jīng)過了所述第一控制閥和所述第二控制閥的流體合流并流動；以及

第二流出流道，連接在使流體從所述第二控制閥流出的第二流出口與所述合流后流道之間，

所述第一流出流道的下游側(cè)與所述合流后流道連接，

所述流體控制裝置還包括：

流量傳感器，測定流過所述合流后流道的流體的流量；以及

流體控制器，至少基于所述流量傳感器測定的流量，控制所述第一控制閥和所述第二控制閥中的至少一方。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述內(nèi)部流道還包括：

第一流入流道，與使流體流入所述第一控制閥的第一流入口連接；以及

分路前流道，下游側(cè)連接于所述第一流入流道和所述第二流入流道，

所述流體控制裝置還包括：

流量傳感器，測定流過所述分路前流道的流體的流量；以及

流體控制器，至少基于所述流量傳感器測定的流量，控制所述第一控制閥和所述第二控制閥中的至少一方。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述流體控制器包括：

開度控制部，控制所述第一控制閥和所述第二控制閥中的任意一方的開度，以使比設(shè)定流量小預(yù)定倍的分擔(dān)目標(biāo)流量流動；以及

流量反饋控制部，控制所述第一控制閥和所述第二控制閥中的另一方，以使所述設(shè)定流量與所述流量傳感器測定的流量的偏差變小。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制裝置，其特征在于，

所述開度控制部包括：

目標(biāo)開度算出部，基于所述第一控制閥的上游側(cè)的壓力，算出與所述分擔(dān)目標(biāo)流量相當(dāng)?shù)哪繕?biāo)開度；以及

電壓控制部，將與所述目標(biāo)開度相當(dāng)?shù)碾妷菏┘佑谒龅谝豢刂崎y和所述第二控制閥中的另一方。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制裝置，其特征在于，所述分擔(dān)目標(biāo)流量設(shè)定為所述設(shè)定流量的1/2倍。