[發明專利]流體控制裝置

在審

• 申請號: 202110360803.8
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113513613A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 赤土和也
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: F16K11/10
• 分類號: F16K11/10;F16K37/00;H01L21/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

本發明提供流體控制裝置，包括：塊件，沿著長邊方向以預定寬度延伸；內部流道，形成在所述塊件內，沿著所述長邊方向延伸；第一控制閥，安裝于所述塊件；以及第二控制閥，在所述塊件中安裝于比所述第一控制閥更靠下游側，所述內部流道包括：合流后流道，使經過了所述第一控制閥和所述第二控制閥的流體合流并流動；第一流出流道，連接在使流體從所述第一控制閥流出的第一流出口與所述合流后流道之間；第二流出流道，連接在使流體從所述第二控制閥流出的第二流出口與所述合流后流道之間；以及第二流入流道，與使流體流入所述第二控制閥的第二流入口連接，在沿著寬度方向透視所述塊件的情況下，所述第一流出流道與所述第二流入流道配置成重疊在一點。

技術領域

本發明涉及一種控制氣體等流體的流量、壓力的流體控制裝置。

背景技術

例如在半導體制造工序中，為了控制氣體的流量而使用質量流量控制器。在以往的質量流量控制器中，形成有內部流道的塊件安裝有壓力傳感器、控制閥等流體控制設備。為了使多個質量流量控制器緊湊地并列，所述塊件呈在長邊方向上以預定寬度延伸的細長的長方體形狀(參照專利文獻1)。

更具體而言，塊件的寬度尺寸根據規格而例如確定為10mm。此外，在塊件的作為與長邊方向平行的一面的安裝面，在長邊方向上并列安裝有具有與該塊件的寬度尺寸大致相同的寬度尺寸的多個流體控制設備。

并且，近年來，質量流量控制器不僅要求緊湊地構成，還要求流過比以往更大的流量。質量流量控制器的最大流量被大致限制為控制閥能夠流動的流量。因此，例如專利文獻2所示，考慮在塊件內相對于寬度方向并列地形成兩條內部流道，在各內部流道設置控制閥，使流動的流量成為大約兩倍。

但是，在上述結構下雖然能夠增大最大流量，但是必須在塊件的寬度方向上排列兩個控制閥等流體控制設備，難以使質量流量控制器更加緊湊。

專利文獻1：WO2011/040270號公報

專利文獻2：日本特開2014-32635號公報

發明內容

本發明是為了一并解決上述問題而完成的，其目的在于提供一種能夠將寬度尺寸保持為較小并使最大流量比以往大的流體控制裝置。

即，本發明的流體控制裝置包括：塊件，沿著長邊方向以預定寬度延伸；內部流道，形成在所述塊件內，沿著所述長邊方向延伸；第一控制閥，安裝于所述塊件；以及第二控制閥，在所述塊件中安裝于比所述第一控制閥更靠下游側，所述內部流道包括：第一流出流道，與使流體從所述第一控制閥流出的第一流出口連接；以及第二流入流道，與使流體流入所述第二控制閥的第二流入口連接，在沿著寬度方向透視所述塊件的情況下，所述第一流出流道與所述第二流入流道配置成重疊在一點。

按照這種結構，能夠將所述第一控制閥和所述第二控制閥沿著長邊方向并列配置，減小所述塊件的寬度尺寸，并且能夠使從各控制閥流出的流體合流并流動。因此，能夠使流體控制裝置的寬度尺寸緊湊，并且能夠通過使用兩個控制閥而使最大流量為以往的大約兩倍。

為了即使所述塊件的寬度尺寸小，也容易將所述第一流出流道和所述第二流入流道在所述塊件內以不干擾的方式配置在扭轉的位置，可以是所述塊件包括：安裝面，用于安裝流體控制設備；以及突出部，相對于所述安裝面突出預定量，所述第一控制閥和所述第二控制閥中的任意一方安裝于所述安裝面。

為了盡可能地縮短形成在所述塊件內的內部流道的長度，減小內部容積，并且使控制的響應性良好，所述第二控制閥可以設置于所述突出部。按照這種結構，在從所述塊件的端面或安裝面的對置面導入流體的情況下，容易縮短用于使流體流入位于上游側的所述第一控制閥的流道的長度。