[發明專利]一種桌面型納米壓印設備及其壓印方法

有效

• 申請號: 202110356969.2
• 申請日: 2021-04-01
• 公開（公告）號: CN113075860B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20;G03F7/16
• 代理公司: 山東重諾律師事務所 37228
• 代理人: 王鵬里

1.一種桌面型納米壓印設備，其特征在于，包括：

吸盤，所述吸盤可升降，且在吸盤的上表面設置有真空槽，與所述真空槽連接有真空發生裝置，以在吸盤上表面形成負壓，用于吸附基片；

支撐裝置，其設置有兩個，分別位于所述吸盤的左側及右側，其中，左側支撐裝置上連接有可升降的第一升降塊，右側支撐裝置上連接有可升降的第二升降塊和第三升降塊，所述左側支撐裝置以及右側支撐裝置上分別設置有兩限位塊，以相應的限位第一升降塊、第二升降塊以及第三升降塊的升降位置；

滴膠裝置，其位于左側支撐裝置與吸盤之間，所述滴膠裝置包括移動機構，以及與所述移動機構連接有可轉動的滴膠嘴組件，所述滴膠嘴組件轉動至工作位置后，并通過移動機構移動，可向基片的不同位置滴膠；

涂布裝置，與所述第三升降塊連接，所述涂布裝置具有可伸縮的涂布塊，以在所述基片上滴膠后，通過涂布塊的伸縮涂布膠液，所述涂布塊為條形，所述涂布塊上設置有涂布面，所述涂布面朝向基片，所述涂布塊的兩端連接有厚度控制板，以控制膠液涂布厚度，所述涂布塊通過伸縮桿第三升降塊連接，所述涂布面包括四個不相同的涂布面，所述涂布塊可轉動，以使不同的涂布面朝向基片控制不同的涂膠厚度；

固定裝置，用于固定PET，包括連接于所述左側支撐裝置上的第一固定裝置，以及連接于所述第二升降塊上的第二固定裝置，用于固定PET的兩端，且所述第二固定裝置的高度位于第一固定裝置以上；

壓印曝光裝置，其與第一升降塊連接，壓印曝光裝置具有可伸縮的壓印頭，壓印頭朝向壓印方形的角為圓弧形，壓印頭可與PET上表面相抵，并向第二固定裝置的方向伸縮，所述壓印頭上具有透光區以及與透光區對應的紫外燈。

2.根據權利要求1所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述真空發生裝置包括設置于真空槽內的真空孔以及與真空孔連接的真空泵。

3.根據權利要求1所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述左側支撐裝置以及右側支撐裝置均為支撐桿，所述第一升降塊、第二升降塊、第三升降塊均為升降電機，所述第一升降塊位于所述第一固定裝置上方，所述第二升降塊位于所述第三升降塊的下方。

4.根據權利要求1所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述移動機構為滑軌，所述滴膠嘴組件包括連接于滑軌上的旋轉電機，與旋轉電機連接的剛性膠管，以及連接于膠管兩管口上的膠嘴以及膠瓶。

5.根據權利要求1所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述第一固定裝置包括水平設置的橫向支撐桿，以及連接于橫向支撐桿上用于固定PET一端的固定卡，所述橫向支撐桿朝向右側支撐裝置的方向設置。

6.根據權利要求1所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述二固定裝置包括連接于所述第二升降塊上用于固定PET另一端的固定卡。

7.根據權利要求1或5所述的桌面型納米壓印設備，其特征在于：所述固定卡包括上固定板，以及與所述上固定板對應的下固定板，所述上固定板與下固定板之間可連接，以使所述PET的邊緣固定于所述上固定板與下固定板之間。

8.一種采用權利要求1-7任一權利要求書所述的桌面型納米壓印設備的壓印方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：上料

將基片放在吸盤上，通過負壓吸附固定基片，將PET的兩端通過所述第一固定裝置以及第二固定裝置固定；

S2：點膠

吸盤提升至點膠位置，滴膠嘴組件轉動至工作位置后，并通過移動機構移動，向基片的不同位置滴膠，點膠完成后，滴膠嘴組件旋轉至起點位置；

S3：涂布

轉動涂布塊，選擇朝向基片的涂布面后，固定涂布塊，涂布塊伸出至膠液遠離涂布方向一端對應的a位置，吸盤提升至涂布位置，涂布塊逐步向涂布方向回拉至b位置；

S4：壓印

吸盤提升至壓印位置，以使基片上的膠體與靠近第一固定裝置上PET的下表面接觸，壓印曝光裝置在第一升降塊的移動下向下移動，以使壓印頭與PET的上表面相抵，紫外燈打開，壓印頭向第二固定裝置的方向移動的同時，第二升降塊向下移動，第二固定裝置在第二升降塊的帶動下，使PET另一端向下移動，PET自靠近左側支撐裝置一側向右側支撐裝置一側逐步與膠液接觸，并通過壓印頭壓印、紫外燈固化，完成壓印，紫外燈關閉；

S5：脫模

壓印曝光裝置上的壓印頭回至起點，第二升降塊向上移動，第二固定裝置在第二升降塊的帶動下，使PET另一端向上移動，PET自靠近右側支撐裝置一側向左側支撐裝置一側逐步與固化的膠液分離，完成脫模，吸盤回至起點。