[發明專利]一種多爐管的原子層沉積設備在審
| 申請號： | 202110356604.X | 申請日： | 2021-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN112921304A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 陶俊;張三洋;王雪楠;劉敏星;高根震;姚麗英 | 申請（專利權）人： | 無錫琨圣智能裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/52;C23C16/54 |
| 代理公司： | 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吳忠義 |
| 地址： | 214000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 爐管 原子 沉積 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：包括至少兩個爐管，每個所述爐管的爐尾通過連接管共同連接有一個總管路，所述總管路的另一端連接有一個真空抽吸裝置。
2.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：每個所述爐管為雙層結構，由內到外分別為工藝內腔和外殼。
3.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：所述真空抽吸裝置為真空泵。
4.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：所述總管路上設置有過濾器。
5.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：每個所述爐管的長度相同，所述總管路上設置有總角閥。
6.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：每個所述連接管上設置有一個獨立角閥。
7.根據權利要求1所述的一種多爐管的原子層沉積設備，其特征在于：所述總管路上涉及連接的位置均采用抱箍進行連接。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
