[發(fā)明專利]可燃?xì)怏w處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110356263.6 | 申請日： | 2021-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN113091074B | 公開（公告）日： | 2023-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李岑;閆曉騰;韓子迦 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | F23G7/06 | 分類號： | F23G7/06;F23G5/12;F23G5/50;F23G5/44;F23J15/02;F23J15/06;B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 可燃 氣體 處理 裝置 | ||
本發(fā)明提供一種可燃?xì)怏w處理裝置，用于對工藝腔室排放的工藝廢氣中的可燃?xì)怏w進(jìn)行處理，可燃?xì)怏w處理裝置包括燃燒腔室和吸收存儲腔室，其中，燃燒腔室用于連通工藝腔室和吸收存儲腔室；燃燒腔室內(nèi)設(shè)有高溫燃燒組件，高溫燃燒組件用于使排放至燃燒腔室中的工藝廢氣中的可燃?xì)怏w燃燒，燃燒后的工藝廢氣進(jìn)入吸收存儲腔室中；吸收存儲腔室的制作材料能夠吸收并存儲燃燒后的工藝廢氣中的可燃?xì)怏w，且吸收存儲腔室上設(shè)置有第一排氣結(jié)構(gòu)，第一排氣結(jié)構(gòu)用于將未經(jīng)吸收存儲的工藝廢氣排放。本發(fā)明提供的可燃?xì)怏w處理裝置，能夠降低可燃?xì)怏w排放到外界的量，降低工藝污染，提高工藝安全性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種可燃?xì)怏w處理裝置。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體工藝排放的工藝廢氣中不可避免的會含有例如氫氣等可燃?xì)怏w，若可燃?xì)怏w不經(jīng)處理直接排放，不僅會產(chǎn)生污染，還會帶來很大的安全隱患，因此，通常會設(shè)置可燃?xì)怏w處理裝置對工藝廢氣中的可燃?xì)怏w進(jìn)行處理，現(xiàn)有的可燃?xì)怏w處理裝置通常是通過高溫使可燃?xì)怏w燃燒，以避免高濃度的可燃?xì)怏w直接排放，但是，現(xiàn)有的可燃?xì)怏w處理裝置在對可燃?xì)怏w處理后，仍然會有可燃?xì)怏w排放，從而產(chǎn)生污染，并造成安全隱患。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種可燃?xì)怏w處理裝置，其能夠降低可燃?xì)怏w排放的濃度，降低工藝污染，提高工藝安全性。
為實現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種可燃?xì)怏w處理裝置，用于對工藝腔室排放的工藝廢氣中的可燃?xì)怏w進(jìn)行處理，所述可燃?xì)怏w處理裝置包括燃燒腔室和吸收存儲腔室，其中，所述燃燒腔室用于連通所述工藝腔室和所述吸收存儲腔室；
所述燃燒腔室內(nèi)設(shè)有高溫燃燒組件，所述高溫燃燒組件用于使排放至所述燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的可燃?xì)怏w燃燒，燃燒后的所述工藝廢氣進(jìn)入所述吸收存儲腔室中；
所述吸收存儲腔室的制作材料能夠吸收并存儲燃燒后的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w，且所述吸收存儲腔室上設(shè)置有第一排氣結(jié)構(gòu)，所述第一排氣結(jié)構(gòu)用于將未經(jīng)吸收存儲的所述工藝廢氣排放。
可選的，所述吸收存儲腔室的制作材料包括能夠吸收并存儲所述可燃?xì)怏w的金屬化合物。
可選的，所述金屬化合物包括鎂鎳合金。
可選的，所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括稀釋氣體管件，所述稀釋氣體管件與所述吸收存儲腔室連通，并能夠與稀釋氣體源連通，用于通過將所述稀釋氣體源提供的稀釋氣體引流至所述吸收存儲腔室中，對進(jìn)入所述吸收存儲腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w進(jìn)行稀釋。
可選的，所述高溫燃燒組件包括高溫燃燒腔室和高溫部件，其中，所述高溫燃燒腔室設(shè)置在所述燃燒腔室中，并能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述高溫燃燒腔室中，且與所述燃燒腔室連通，使燃燒后的所述工藝廢氣通過所述燃燒腔室進(jìn)入所述吸收存儲腔室中；
所述高溫部件設(shè)置在所述高溫燃燒腔室中，用于產(chǎn)生高溫使排放至所述高溫燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w燃燒。
可選的，所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括助燃組件，所述助燃組件用于向所述高溫燃燒腔室中通入與所述可燃?xì)怏w相同的氣體，以提高所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w的含量。
可選的，所述助燃組件包括助燃腔室、助燃?xì)怏w管件和第二排氣結(jié)構(gòu)，其中，所述助燃腔室設(shè)置在所述高溫燃燒腔室中，并能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述助燃腔室中；
所述助燃?xì)怏w管件與所述助燃腔室連通，并能夠與助燃?xì)怏w源連通，將所述助燃?xì)怏w源提供的所述助燃?xì)怏w引流至所述助燃腔室中，與進(jìn)入所述助燃腔室中的所述工藝廢氣混合；
所述第二排氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述助燃腔室上，并與所述高溫部件對應(yīng)設(shè)置，將混合后的所述工藝廢氣和所述助燃?xì)怏w排放至所述高溫部件。
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