[發明專利]可燃氣體處理裝置

有效

• 申請號: 202110356263.6
• 申請日: 2021-04-01
• 公開（公告）號: CN113091074B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 李岑;閆曉騰;韓子迦
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23G5/12;F23G5/50;F23G5/44;F23J15/02;F23J15/06;B01D53/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種可燃氣體處理裝置，用于對工藝腔室排放的工藝廢氣中的可燃氣體進行處理，其特征在于，所述可燃氣體處理裝置包括燃燒腔室和吸收存儲腔室，其中，所述燃燒腔室用于連通所述工藝腔室和所述吸收存儲腔室；

所述燃燒腔室內設有高溫燃燒組件，所述高溫燃燒組件用于使排放至所述燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的可燃氣體燃燒，燃燒后的所述工藝廢氣進入所述吸收存儲腔室中；

所述吸收存儲腔室的制作材料能夠吸收并存儲燃燒后的所述工藝廢氣中的所述可燃氣體，且所述吸收存儲腔室上設置有第一排氣結構，所述第一排氣結構用于將未經吸收存儲的所述工藝廢氣排放；

所述高溫燃燒組件包括高溫燃燒腔室和高溫部件，所述高溫燃燒腔室設置在所述燃燒腔室中，所述高溫部件設置在所述高溫燃燒腔室中；

所述可燃氣體處理裝置還包括助燃組件，所述助燃組件用于向所述高溫燃燒腔室中通入與所述可燃氣體相同的氣體，以提高所述工藝廢氣中的所述可燃氣體的濃度。

2.根據權利要求1所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述吸收存儲腔室的制作材料包括能夠吸收并存儲所述可燃氣體的金屬化合物。

3.根據權利要求2所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述金屬化合物包括鎂鎳合金。

4.根據權利要求1所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述可燃氣體處理裝置還包括稀釋氣體管件，所述稀釋氣體管件與所述吸收存儲腔室連通，并能夠與稀釋氣體源連通，用于通過將所述稀釋氣體源提供的稀釋氣體引流至所述吸收存儲腔室中，對進入所述吸收存儲腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃氣體進行稀釋。

5.根據權利要求1所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述高溫燃燒腔室能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述高溫燃燒腔室中，且與所述燃燒腔室連通，使燃燒后的所述工藝廢氣通過所述燃燒腔室進入所述吸收存儲腔室中；

所述高溫部件用于產生高溫使排放至所述高溫燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃氣體燃燒。

6.根據權利要求1所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述助燃組件包括助燃腔室、助燃氣體管件和第二排氣結構，其中，所述助燃腔室設置在所述高溫燃燒腔室中，并能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述助燃腔室中；

所述助燃氣體管件與所述助燃腔室連通，并能夠與助燃氣體源連通，將所述助燃氣體源提供的所述助燃氣體引流至所述助燃腔室中，與進入所述助燃腔室中的所述工藝廢氣混合；

所述第二排氣結構設置在所述助燃腔室上，并與所述高溫部件對應設置，將混合后的所述工藝廢氣和所述助燃氣體排放至所述高溫部件。

7.根據權利要求5所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述可燃氣體處理裝置還包括燃燒檢測部件，所述燃燒檢測部件用于對排放至所述高溫燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃氣體燃燒產生的火焰進行檢測。

8.根據權利要求5所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述燃燒腔室設置有導流結構，所述導流結構用于將燃燒后的所述工藝廢氣導流向所述燃燒腔室與所述吸收存儲腔室的連通處。

9.根據權利要求8所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述導流結構包括導流板，所述導流板的一側連接于所述燃燒腔室與所述吸收存儲腔室連通的側壁，另一側與所述側壁相鄰的鄰側壁連接，并相對于所述側壁和所述鄰側壁傾斜設置，使燃燒后的所述工藝廢氣沿其流向所述側壁。

10.根據權利要求9所述的可燃氣體處理裝置，其特征在于，所述可燃氣體處理裝置還包括第一冷卻組件、第二冷卻組件和第三冷卻組件中的一個或多個，其中，所述第一冷卻組件設置在所述吸收存儲腔室中，用于對進入所述吸收存儲腔室中的燃燒后的所述工藝廢氣進行冷卻；

所述第二冷卻組件設置在所述高溫燃燒腔室中，用于對進入所述高溫燃燒腔室中，并經過高溫燃燒后的所述工藝廢氣進行冷卻；

所述第三冷卻組件設置在所述燃燒腔室中，并設置在所述導流板上，用于對沿所述導流板流動的燃燒后的所述工藝廢氣進行冷卻。