[發(fā)明專利]可燃?xì)怏w處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110356263.6
• 申請日: 2021-04-01
• 公開（公告）號: CN113091074B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李岑;閆曉騰;韓子迦
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23G5/12;F23G5/50;F23G5/44;F23J15/02;F23J15/06;B01D53/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種可燃?xì)怏w處理裝置，用于對工藝腔室排放的工藝廢氣中的可燃?xì)怏w進(jìn)行處理，其特征在于，所述可燃?xì)怏w處理裝置包括燃燒腔室和吸收存儲腔室，其中，所述燃燒腔室用于連通所述工藝腔室和所述吸收存儲腔室；

所述燃燒腔室內(nèi)設(shè)有高溫燃燒組件，所述高溫燃燒組件用于使排放至所述燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的可燃?xì)怏w燃燒，燃燒后的所述工藝廢氣進(jìn)入所述吸收存儲腔室中；

所述吸收存儲腔室的制作材料能夠吸收并存儲燃燒后的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w，且所述吸收存儲腔室上設(shè)置有第一排氣結(jié)構(gòu)，所述第一排氣結(jié)構(gòu)用于將未經(jīng)吸收存儲的所述工藝廢氣排放；

所述高溫燃燒組件包括高溫燃燒腔室和高溫部件，所述高溫燃燒腔室設(shè)置在所述燃燒腔室中，所述高溫部件設(shè)置在所述高溫燃燒腔室中；

所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括助燃組件，所述助燃組件用于向所述高溫燃燒腔室中通入與所述可燃?xì)怏w相同的氣體，以提高所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w的濃度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述吸收存儲腔室的制作材料包括能夠吸收并存儲所述可燃?xì)怏w的金屬化合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述金屬化合物包括鎂鎳合金。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括稀釋氣體管件，所述稀釋氣體管件與所述吸收存儲腔室連通，并能夠與稀釋氣體源連通，用于通過將所述稀釋氣體源提供的稀釋氣體引流至所述吸收存儲腔室中，對進(jìn)入所述吸收存儲腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w進(jìn)行稀釋。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述高溫燃燒腔室能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述高溫燃燒腔室中，且與所述燃燒腔室連通，使燃燒后的所述工藝廢氣通過所述燃燒腔室進(jìn)入所述吸收存儲腔室中；

所述高溫部件用于產(chǎn)生高溫使排放至所述高溫燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w燃燒。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述助燃組件包括助燃腔室、助燃?xì)怏w管件和第二排氣結(jié)構(gòu)，其中，所述助燃腔室設(shè)置在所述高溫燃燒腔室中，并能夠與所述工藝腔室連通，使所述工藝廢氣排放至所述助燃腔室中；

所述助燃?xì)怏w管件與所述助燃腔室連通，并能夠與助燃?xì)怏w源連通，將所述助燃?xì)怏w源提供的所述助燃?xì)怏w引流至所述助燃腔室中，與進(jìn)入所述助燃腔室中的所述工藝廢氣混合；

所述第二排氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述助燃腔室上，并與所述高溫部件對應(yīng)設(shè)置，將混合后的所述工藝廢氣和所述助燃?xì)怏w排放至所述高溫部件。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括燃燒檢測部件，所述燃燒檢測部件用于對排放至所述高溫燃燒腔室中的所述工藝廢氣中的所述可燃?xì)怏w燃燒產(chǎn)生的火焰進(jìn)行檢測。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述燃燒腔室設(shè)置有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)用于將燃燒后的所述工藝廢氣導(dǎo)流向所述燃燒腔室與所述吸收存儲腔室的連通處。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)流板，所述導(dǎo)流板的一側(cè)連接于所述燃燒腔室與所述吸收存儲腔室連通的側(cè)壁，另一側(cè)與所述側(cè)壁相鄰的鄰側(cè)壁連接，并相對于所述側(cè)壁和所述鄰側(cè)壁傾斜設(shè)置，使燃燒后的所述工藝廢氣沿其流向所述側(cè)壁。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可燃?xì)怏w處理裝置，其特征在于，所述可燃?xì)怏w處理裝置還包括第一冷卻組件、第二冷卻組件和第三冷卻組件中的一個或多個，其中，所述第一冷卻組件設(shè)置在所述吸收存儲腔室中，用于對進(jìn)入所述吸收存儲腔室中的燃燒后的所述工藝廢氣進(jìn)行冷卻；

所述第二冷卻組件設(shè)置在所述高溫燃燒腔室中，用于對進(jìn)入所述高溫燃燒腔室中，并經(jīng)過高溫燃燒后的所述工藝廢氣進(jìn)行冷卻；

所述第三冷卻組件設(shè)置在所述燃燒腔室中，并設(shè)置在所述導(dǎo)流板上，用于對沿所述導(dǎo)流板流動的燃燒后的所述工藝廢氣進(jìn)行冷卻。