[發明專利]一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤、蘸取系統及方法在審
| 申請號: | 202110354584.2 | 申請日: | 2021-03-31 |
| 公開(公告)號: | CN113097109A | 公開(公告)日: | 2021-07-09 |
| 發明(設計)人: | 徐召明 | 申請(專利權)人: | 華天科技(南京)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 李鵬威 |
| 地址: | 211805 江蘇省南京市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 能夠 預防 bump 焊劑 系統 方法 | ||
本發明公開了一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤、蘸取系統及方法;所述一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤,包括:助焊劑盤底座和刮環;助焊劑盤底座上表面凹陷形成有助焊劑槽;助焊劑槽中具有助焊劑;刮環的靜止位置位于助焊劑盤底座上表面的助焊劑槽的一側;刮環能夠在助焊劑盤底座上往復運動以攪拌助焊劑槽中的助焊劑;助焊劑槽遠離刮環靜止位置的一側內壁設置為斜面。本發明能夠有效解決現有技術中當貼裝吸嘴發生漏真空,蘸取助焊劑參數不當或者貼裝速度過快時,芯片掉入助焊劑盤中,使得助焊劑刮環來回攪拌助焊劑,刮環會將芯片磨碎成硅渣,進而影響芯片Bump蘸取助焊劑,導致bump焊接虛焊的技術問題。
技術領域
本發明屬于封裝設備技術領域,特別涉及一種能夠改善預防Bump虛焊的助焊劑盤及方法。
背景技術
對Flipchip芯片(倒裝芯片)尺寸小于2.0×2.0mm,一般需要速度較快的設備貼裝,才能完成每天的產能。Flipchip芯片Bump,即在芯片鋁焊盤上制作的凸點,貼裝前需要芯片Bump蘸取助焊劑,助焊劑盤盛放助焊劑。如果貼裝吸嘴漏真空、蘸取助焊劑參數不當、貼裝速度過快,芯片有掉入助焊劑盤的風險。
助焊劑刮環來回攪拌助焊劑,刮環會將芯片磨碎成硅渣,硅渣會影響芯片Bump蘸取助焊劑,導致bump焊接虛焊。
此外,助焊劑盤掉芯異常設備和人員不易監測,往往會導致大量產品報廢。
發明內容
針對上述技術問題,本發明提供一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤、蘸取系統及方法,用于解決現有技術中當貼裝吸嘴發生漏真空,蘸取助焊劑參數不當或者貼裝速度過快時,芯片掉入助焊劑盤中,使得助焊劑刮環來回攪拌助焊劑,刮環會將芯片磨碎成硅渣,進而影響Bump蘸取助焊劑,導致bump焊接虛焊的技術問題。
為了實現上述目的,本發明的技術方案具體如下:
第一方面,本發明提供一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤,包括:
助焊劑盤底座和刮環;
助焊劑盤底座上表面凹陷形成有助焊劑槽;助焊劑槽中具有助焊劑;
刮環的靜止位置位于助焊劑盤底座上表面的助焊劑槽的一側;刮環能夠在助焊劑盤底座上往復運動以攪拌助焊劑槽中的助焊劑;
助焊劑槽遠離刮環靜止位置的一側內壁設置為斜面。
本發明進一步的改進在于:所述助焊劑槽為矩形;矩形的助焊劑槽的四壁均設置為斜面。
本發明進一步的改進在于:所述助焊劑槽為圓形;圓形的助焊劑槽的內壁均設置為斜面。
本發明進一步的改進在于:所述斜面與水平面的夾角小于等于45°。
本發明進一步的改進在于:所述斜面與水平面的夾角小于等于30°。
第二發明,本發明提供一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑蘸取系統,包括一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑盤芯片抓取機構和芯片;
芯片抓取機構包括貼片吸嘴,貼片吸嘴通過負壓吸取芯片,用于在助焊劑槽中蘸取助焊劑。
本發明進一步的改進在于:所述芯片的尺寸小于2.0×2.0mm。
第三發明,本發明提供一種能夠預防Bump虛焊的方法,基所述的一種能夠預防Bump虛焊的助焊劑蘸取系統,包括以下步驟:
貼片吸嘴抓取芯片在助焊劑槽中蘸取助焊劑;
如果芯片掉到助焊劑槽內,刮環往復運動過程中,將芯片從助焊劑槽的斜面推出助焊劑槽外。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





