[發(fā)明專利]測(cè)量系統(tǒng)、測(cè)量方法及曝光裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110353528.7
• 申請(qǐng)日: 2015-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN113093484A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上田哲寬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00;G03F7/20;H01L21/68;H01L21/027
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;閆劍平

移動(dòng)體的控制方法，包含：使能夠在XY平面內(nèi)移動(dòng)的移動(dòng)體(22)沿Y軸方向移動(dòng)，同時(shí)一邊使從標(biāo)記檢測(cè)系統(tǒng)(50)照射的測(cè)量束相對(duì)于載置于該移動(dòng)體(22)的晶圓(W)上設(shè)置的多個(gè)格子標(biāo)記的中的一部分格子標(biāo)記沿Y軸方向掃描，一邊檢測(cè)該一部分格子標(biāo)記的工序；測(cè)量在一部分格子標(biāo)記上的測(cè)量束的照射位置的工序；以及基于照射位置的測(cè)量結(jié)果使測(cè)量束和移動(dòng)體(22)在X軸方向相對(duì)移動(dòng)，并且一邊使測(cè)量光沿Y軸方向掃描一邊檢測(cè)其它格子標(biāo)記的工序。

本發(fā)明申請(qǐng)是國(guó)際申請(qǐng)日為2015年12月22日、國(guó)際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/JP2015/085850、進(jìn)入中國(guó)國(guó)家階段的國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?01580076893.0、發(fā)明名稱為“移動(dòng)體的控制方法、曝光方法、器件制造方法、移動(dòng)體裝置及曝光裝置”的發(fā)明申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及移動(dòng)體的控制方法、曝光方法、器件制造方法、曝光裝置，更詳細(xì)而言，涉及載置設(shè)置有多個(gè)標(biāo)記的物體的移動(dòng)體的控制方法、包含上述移動(dòng)體的控制方法在內(nèi)的曝光方法、使用了上述曝光方法的器件制造方法、包含載置設(shè)置有多個(gè)標(biāo)記的物體的移動(dòng)體的移動(dòng)體裝置、及具備上述移動(dòng)體裝置的曝光裝置。

背景技術(shù)

目前，在制造半導(dǎo)體元件(集成電路等)、液晶顯示元件等電子器件(微型器件)的光刻工序中，使用步進(jìn)掃描方式的投影曝光裝置(所謂掃描步進(jìn)機(jī)(也稱為掃描儀))等。

在這種曝光裝置中，由于例如在晶圓或玻璃板(以下統(tǒng)稱為“晶圓”)上重疊形成有多層圖案，所以進(jìn)行用于使已形成于晶圓上的圖案和光罩或標(biāo)線片(以下統(tǒng)稱為“標(biāo)線片”)所具有的圖案成為最佳的相對(duì)位置關(guān)系的操作(所謂對(duì)準(zhǔn))。另外，作為在這種對(duì)準(zhǔn)中使用的對(duì)準(zhǔn)傳感器，已知有通過使測(cè)量光相對(duì)于設(shè)置于晶圓上的格子標(biāo)記進(jìn)行掃描(追隨晶圓W的移動(dòng))能夠迅速地進(jìn)行該格子標(biāo)記的檢測(cè)的系統(tǒng)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

在此，為了提高重疊精度也期望進(jìn)行多次格子標(biāo)記的位置測(cè)量，具體而言，期望準(zhǔn)確且高速地進(jìn)行設(shè)定于晶圓上的所有照射區(qū)域的格子標(biāo)記的位置測(cè)量。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：美國(guó)專利第8593646號(hào)說明書

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)第一方面，提供一種移動(dòng)體的控制方法，包含：使移動(dòng)體沿第一軸的方向移動(dòng)，同時(shí)一邊使從標(biāo)記檢測(cè)系統(tǒng)照射的測(cè)量光相對(duì)于載置于所述移動(dòng)體的物體上設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記的中的第一標(biāo)記沿所述第一軸的方向掃描，一邊檢測(cè)所述第一標(biāo)記；測(cè)量所述第一標(biāo)記與所述測(cè)量光之間的位置關(guān)系；以及基于測(cè)量出的所述位置關(guān)系，調(diào)整在與所述第一軸交叉的第二軸的方向上的所述測(cè)量光與所述移動(dòng)體之間的相對(duì)位置。

根據(jù)第二方面，提供一種曝光方法，包含：利用第一方面的移動(dòng)體的控制方法控制供設(shè)置有多個(gè)標(biāo)記的物體載置的所述移動(dòng)體；以及基于所述多個(gè)標(biāo)記的檢測(cè)結(jié)果控制所述移動(dòng)體的在包含所述第一軸及所述第二軸的二維平面內(nèi)的位置，同時(shí)對(duì)所述物體使用能量束來形成規(guī)定圖案。

根據(jù)第三方面，提供一種器件制造方法，包含：使用第二方面的曝光方法對(duì)基板進(jìn)行曝光；以及將曝光后的所述基板顯影。

根據(jù)第四方面，提供一種移動(dòng)體裝置，其具備：移動(dòng)體，其能夠在包含第一軸及與所述第一軸交叉的第二軸的二維平面內(nèi)移動(dòng)；標(biāo)記檢測(cè)系統(tǒng)，其使測(cè)量光相對(duì)于在載置于所述移動(dòng)體的物體上設(shè)置的多個(gè)標(biāo)記沿所述第一軸的方向掃描；以及控制系統(tǒng)，其使所述移動(dòng)體沿所述第一軸的方向移動(dòng)，同時(shí)使用所述標(biāo)記檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行所述標(biāo)記的檢測(cè)，所述控制系統(tǒng)檢測(cè)所述多個(gè)標(biāo)記中的第一標(biāo)記，并且測(cè)量所述第一標(biāo)記與所述測(cè)量光之間的位置關(guān)系，基于測(cè)量出的所述位置關(guān)系來調(diào)整在與所述第一軸交叉的第二軸的方向上的所述測(cè)量光與所述移動(dòng)體的相對(duì)位置。

根據(jù)第五方面，提供一種曝光裝置，其包含：第四方面的移動(dòng)體裝置，其在所述移動(dòng)體上載置有設(shè)置有多個(gè)標(biāo)記的物體；以及圖案形成裝置，其對(duì)基于所述多個(gè)標(biāo)記的檢測(cè)結(jié)果而被控制所述二維平面內(nèi)的位置的載置在所述移動(dòng)體上的所述物體利用能量束，形成規(guī)定的圖案。

附圖說明