[發明專利]一種鎳鉻合金濺射靶材及其熱等靜壓制備方法

有效

• 申請號: 202110349682.7
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113088901B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;黃東長
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/35;B22F3/15;C22C19/05;C22C27/06
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鎳鉻合金濺射靶材的熱等靜壓制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓制備方法包括如下步驟：

(1)準備Cr含量為30-80wt％的鎳鉻合金粉，裝入模具并封口；

其中，所述鎳鉻合金粉利用Cr含量為20wt％的鎳鉻合金原料粉與鉻粉混合得到，所述鎳鉻合金原料粉的平均粒度＜100μm，所述鉻粉的平均粒度＜100μm；

(2)將步驟(1)封口后的模具進行脫氣處理；

(3)將步驟(2)脫氣后的模具進行熱等靜壓處理，控制所述熱等靜壓處理的溫度為850-1050℃，壓力為90-170MPa，保溫保壓時間為3-6h，得到鎳鉻合金濺射靶材粗品；

(4)將步驟(3)所述鎳鉻合金濺射靶材粗品進行機加工，得到鎳鉻合金濺射靶材。

2.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，所述混合在混粉機中進行。

3.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，所述混合采用加入鋯球或氧化鋯球進行干混的方式；所述鋯球或氧化鋯球對應的球料質量比為(1-3):10。

4.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，所述混合在氬氣保護下進行。

5.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，所述混合的時間為24-36h。

6.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(1)所述模具為不銹鋼包套。

7.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，在步驟(1)所述裝入模具后，依次進行夯實和封口。

8.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(2)所述脫氣處理的溫度為300-500℃。

9.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(2)所述脫氣處理的時間為4-8h。

10.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(2)所述脫氣處理的真空度在5.0E-3Pa以下。

11.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(2)所述脫氣處理在加熱爐中進行。

12.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(3)所述熱等靜壓處理在熱等靜壓爐中進行。

13.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，在步驟(3)所述熱等靜壓處理前進行冷態增壓燒結。

14.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，在步驟(3)所述熱等靜壓處理后，將所述模具去掉，得到鎳鉻合金濺射靶材粗品。

15.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，步驟(4)所述機加工包括線切割和/或磨加工。

16.根據權利要求1所述的熱等靜壓制備方法，其特征在于，在步驟(4)所述機加工后，將所述鎳鉻合金濺射靶材與背板進行焊接，再經過機加工至目標尺寸，隨后依次進行檢測、清洗、干燥以及包裝，得到鎳鉻合金靶材組件。