[發明專利]一種大尺寸靶材自動翻轉裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202110349681.2
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113086634A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;劉明健
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G41/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發明提供了一種大尺寸靶材自動翻轉裝置及其使用方法，所述翻轉裝置包括軌道、機械臂以及鐵架車；所述機械臂吊裝于所述軌道上；所述鐵架車用于放置靶材；所述機械臂包括主軸、翻轉軸、控制臺、翻轉電機、夾持臂以及氣動夾緊機構；所述控制臺設置于所述主軸上；所述翻轉軸垂直于主軸并與主軸下端連接；所述翻轉電機設置于所述翻轉軸的中間部位；所述夾持臂有兩個，分別設置于所述翻轉軸的兩端；所述氣動夾緊機構有兩個，分別對應設置于所述夾持臂的前端；所述翻轉裝置通過機械臂的設置，實現了靶材自動翻轉功能，減少人員成本、提高生產效率的同時提升產品品質，具有較好的工業應用前景。

技術領域

本發明屬于濺射靶材制備技術領域，具體涉及一種大尺寸靶材自動翻轉裝置及其使用方法。

背景技術

磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式，是用電子槍系統把電子發射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜，這種被鍍的材料就叫濺射靶材。

濺射靶材在焊接、噴砂、清洗等加工過程中需要反復翻轉以保證靶材正反面都能被加工到。一般是先將濺射靶材放置到加工平臺上，待濺射靶材的一面加工好后，通過人工配合將濺射靶材翻轉180度后重新放置到加工平臺上以加工另一面。但對于大尺寸分割型濺射靶材來說，其尺寸、重量都比較大，人工翻轉的勞動強度較大，而且目前人工翻轉是以加工平臺為支撐面的，在翻轉過程中，濺射靶材的側邊容易磕碰到加工平臺上，造成濺射靶材表面擦傷，影響成品質量。

CN210481504U公開了一種大尺寸分割型濺射靶材用翻轉治具，該翻轉治具包括對稱設置在加工平臺兩側的機架，所述機架上設有可升降移動的載重板，所述載重板的下端分別設有翻轉夾持機構、輔助承重機構，所述輔助承重機構位于所述翻轉夾持機構與加工平臺之間。所述翻轉夾持機構包括立板，所述立板上設有可轉動的翻轉板，所述翻轉板的一側設有用于夾緊濺射靶材的夾持組件。所述輔助承重機構包括與所述載重板轉動連接的角板，所述角板的下端設有可套裝在濺射靶材上的承重吊帶，所述承重吊帶用于防止濺射靶材在翻轉中滑脫。該翻轉治具結構較為復雜，且占地體積較大。

CN209702261U公開了一種靶材翻轉臺，該翻轉臺包括有底座，底座兩側中間位置分別設置有支撐架，兩個支撐架一端與翻轉架一端轉動連接，翻轉架包括有鉸接板，鉸接板端面固定有抽氣泵，所述鉸接板滑動連接有卡接板，卡接板為中空的板體，卡接板端延伸設置有延長板，延長板連接有移動板，移動板和延長板配合將靶材夾持，卡接板側面通過設有多個插接槽，插接槽內連接固定有壓縮彈簧，壓縮彈簧的一端連接固定有抽氣嘴，抽氣嘴通過抽氣管與抽氣泵連接作業，抽氣嘴與靶材的側面貼合連接。該翻轉臺通過旋轉軸進行翻轉，需要一定的旋轉空間，且無法夾持大尺寸靶材進行翻轉，否則容易損壞靶材。

綜上所述，如何提供一種結構緊湊，可實現LCD用大尺寸靶材自動翻轉功能的裝置，提高翻轉周轉率，成為當前亟待解決的問題。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明的目的在于提供一種大尺寸靶材自動翻轉裝置及其使用方法，所述翻轉裝置通過機械臂的設置，實現了靶材自動翻轉功能，減少人員成本、提高生產效率的同時提升產品品質，具有較好的工業應用前景。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一方面，本發明提供了一種大尺寸靶材自動翻轉裝置，所述翻轉裝置包括軌道、機械臂以及鐵架車；所述機械臂吊裝于所述軌道上；所述鐵架車用于放置靶材；

所述機械臂包括主軸、翻轉軸、控制臺、翻轉電機、夾持臂以及氣動夾緊機構；所述控制臺設置于所述主軸上；所述翻轉軸垂直于主軸并與主軸下端連接；所述翻轉電機設置于所述翻轉軸的中間部位；所述夾持臂有兩個，分別設置于所述翻轉軸的兩端；所述氣動夾緊機構有兩個，分別對應設置于所述夾持臂的前端。