[發明專利]一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202110349661.5
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113070801A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;劉明健
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發明提供了一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置及其使用方法，所述拋光裝置包括打磨平臺、打磨機器人、機器人地軌、電路控制柜以及工具平臺；所述打磨平臺有兩個，平行設置于所述機器人地軌的兩側；所述電路控制柜位于兩個打磨平臺之間，且設置于所述機器人地軌的任意一端；所述工具平臺設置于所述電路控制柜上；所述打磨機器人放置于所述機器人地軌上；所述打磨機器人包括主體與機械臂，所述機械臂的前端設置有夾孔，所述夾孔中連接有打磨刷；所述拋光裝置通過多種結構的優化設計，實現了對靶材背板U型槽的自動拋光功能，且使用方法簡單，明顯提高生產效率以及產品合格率，具有較好的工業應用前景。

技術領域

本發明屬于靶材制備技術領域，具體涉及一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置及其使用方法。

背景技術

物理氣相沉積法(Physical?Vapor?Deposition，PVD)是半導體芯片液晶顯示器制造中最為普遍的濺鍍工藝。在濺鍍工藝中，靶材組件由符合濺射性能的濺射靶材和具有一定硬度、導電率的靶材背板構成，所述靶材背板不僅在所述靶材組件裝卡至濺射基臺中起到支撐作用，而且作為濺射工藝中的導體使用。

在現有技術中，濺射靶材和靶材背板焊接后，邊緣會存在毛刺，且銅材料很容易生銹，通過車削工藝進行表面加工處理，再配合人工手槍鉆配合鋼絲刷對背板上的U型槽進行拋光，最終通過清洗后真空包裝直接提供給客戶使用，無其他表面處理。而在現有技術下，所述靶材背板容易發生氧化，且通過人工處理背板上的U型槽內的異物效率較低、效果較差，一旦發生氧化將會嚴重影響靶材背板的導電性，在濺射過程中可能會使濺射靶材出現異常放電或斷電現象，進而影響所述濺射靶材的質量，甚至引起濺射靶材的報廢。因此根據上述情況，需對靶材背板的表面處理工藝進行優化，來解決現有技術下的靶材背板易發生氧化的問題。

CN106312565A公開了一種靶材組件的加工方法，該方法采用粗拋光和精拋光多次拋光工藝對靶材組件的靶材背板進行拋光，但該方法利用背絨砂紙對靶材背板進手動行拋光處理，拋光效率低且拋光后靶材背板的拋光紋路具有取向性，還會造成一定的硅殘留。

CN112077674A一種靶材組件中背板的拋光工藝，該拋光工藝包括對靶材背板依次進行第一機械拋光和第二機械拋光；所述第一機械拋光中所用砂帶為600#的不織布環帶；所述第二機械拋光中所用砂帶為240#的不織布環帶；該工藝需進行兩次拋光，所需時間較長，且其并沒有涉及對背板上的U型槽進行拋光的工藝。

綜上所述，如何提供一種針對靶材背板U型槽的自動拋光工藝，保證產品質量的同時提高生產效率成為當前亟待解決的問題。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明的目的在于提供一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置及其使用方法，所述拋光裝置通過多種結構的優化設計，實現了對靶材背板U型槽的自動拋光功能，且使用方法簡單，明顯提高生產效率以及產品通過率，具有較好的工業應用前景。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一方面，本發明提供了一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置，所述拋光裝置包括打磨平臺、打磨機器人、機器人地軌、電路控制柜以及工具平臺；

所述打磨平臺有兩個，平行設置于所述機器人地軌的兩側；所述電路控制柜位于兩個打磨平臺之間，且設置于所述機器人地軌的任意一端；所述工具平臺設置于所述電路控制柜上；所述打磨機器人放置于所述機器人地軌上；所述打磨機器人包括主體與機械臂，所述機械臂的前端設置有夾孔，所述夾孔中連接有打磨刷；

所述打磨平臺上放置有靶材，所述靶材包括靶材主體和靶材背板，所述靶材背板上設置有U型槽。