[發明專利]一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202110349661.5
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113070801A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;劉明健
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材背板U型槽的自動拋光裝置的使用方法，其特征在于，所述拋光裝置包括打磨平臺、打磨機器人、機器人地軌、電路控制柜以及工具平臺；

所述打磨平臺有兩個，平行設置于所述機器人地軌的兩側；所述電路控制柜位于兩個打磨平臺之間，且設置于所述機器人地軌的任意一端；所述工具平臺設置于所述電路控制柜上；所述打磨機器人放置于所述機器人地軌上；所述打磨機器人包括主體與機械臂，所述機械臂的前端設置有夾孔，所述夾孔中連接有打磨刷；

所述打磨平臺上放置有靶材，所述靶材包括靶材主體和靶材背板，所述靶材背板上設置有U型槽；

所述U型槽包括第一U型槽和第二U型槽；

所述第一U型槽靶設置于所述靶材背板背離靶材主體的一側；

所述第一U型槽的底部設置有第二U型槽；

所述使用方法包括以下步驟：

將靶材背板朝上放置于打磨平臺上，將打磨刷裝入機械臂的夾孔中，啟動打磨機器人控制機械臂，使打磨刷置于所述靶材背板的第一U型槽內，然后進行拋光；

所述拋光過程中打磨刷的下壓力為0.4~0.6kg；

所述拋光過程中，所述打磨刷的轉速為1450~1550r/min；

所述打磨刷包括鋼絲刷；

所述鋼絲刷的刷頭的直徑為14~16mm。

2.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平臺靠近所述機器人地軌的長邊一側設置有氣動吸盤，每個打磨平臺設置的氣動吸盤不少于5個。

3.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平臺遠離所述電路控制柜的短邊一側設置有平行于短邊的定位塊。

4.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述打磨平臺設置有定位塊一端的內側長邊對稱設置有安全光柵。

5.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，每個所述打磨平臺的中間部位均設置有兩個凹槽。

6.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述工具平臺包括備用打磨刷收納區和報廢打磨刷收納區。

7.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述鋼絲刷的刷頭的直徑為15mm。

8.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述靶材包括LCD用平面靶材。

9.根據權利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述LCD用平面靶材為分體型靶材。

10.根據權利要求9所述的使用方法，其特征在于，所述LCD用平面靶材包括G10.5系列靶材。

11.根據權利要求10所述的使用方法，其特征在于，所述G10.5系列靶材包括銅靶材。

12.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述U型槽為4個。

13.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的寬度為19~21mm。

14.根據權利要求13所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的深度為5~7mm，并小于所述靶材背板的厚度。

15.根據權利要求14所述的使用方法，其特征在于，所述第一U型槽的長度為45~50mm。

16.根據權利要求1所述的使用方法，其特征在于，所述第二U型槽的深度與所述第一U型槽的深度之和等于所述靶材背板的厚度。

17.根據權利要求16所述的使用方法，其特征在于，所述第二U型槽的寬度小于所述第一U型槽的寬度。