[發明專利]蒸鍍掩膜的制造裝置以及制造方法

在審

• 申請號: 202110344384.9
• 申請日: 2021-03-30
• 公開（公告）號: CN113493894A
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發明（設計）人: 山田哲行
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;C25D1/20;C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;李文嶼

1.蒸鍍掩膜的制造裝置，包括：

設置結構體的工作臺，所述結構體設有蒸鍍掩膜和與所述蒸鍍掩膜相接的金屬層；和

從所述蒸鍍掩膜將所述金屬層剝離并進行卷繞的旋轉輥。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述旋轉輥沿著與所述工作臺的一邊大致平行的第1方向、相對于所述工作臺相對地移動而對所述金屬層進行卷繞。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述旋轉輥以使所述金屬層的被剝離面成為內側地進行卷繞的方式旋轉。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述蒸鍍掩膜的制造裝置還包括對被從所述蒸鍍掩膜剝離了的所述金屬層進行按壓的按壓輥。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述蒸鍍掩膜的制造裝置構成為使得所述旋轉輥與所述按壓輥的彼此的軸距可變。

6.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述按壓輥以形成中心角為180°以上的圓弧地彎曲的方式對被剝離了的所述金屬層進行按壓。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述蒸鍍掩膜的制造裝置還包括對所述工作臺與被剝離了的所述金屬層的彎曲面的距離進行測定的傳感器。

8.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述按壓輥配合所述旋轉輥而相對于所述工作臺相對地移動。

9.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述按壓輥的中心軸位于比所述旋轉輥的中心軸靠下方的位置。

10.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述蒸鍍掩膜的制造裝置還包括用于防止所述金屬層的卷繞的浮起的第1固定輥。

11.根據權利要求10所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述第1固定輥的中心軸位于比所述旋轉輥的中心軸靠上方的位置。

12.根據權利要求4所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述蒸鍍掩膜的制造裝置還包括用于防止所述金屬層的剝離的跳出的第2固定輥。

13.根據權利要求12所述的蒸鍍掩膜的制造裝置，其中，

所述第2固定輥的中心軸位于比所述按壓輥的中心軸靠下方的位置。

14.蒸鍍掩膜的制造方法，包括：

在設有蒸鍍掩膜和與所述蒸鍍掩膜相接的金屬層的結構體中，一邊用旋轉輥卷繞所述金屬層，一邊使所述旋轉輥沿著與所述結構體的一邊大致平行的第1方向移動，從所述蒸鍍掩膜將所述金屬層剝離。

15.根據權利要求14所述的蒸鍍掩膜的制造方法，其中，

所述旋轉輥以使所述金屬層的被剝離面成為內側地進行卷繞的方式旋轉。

16.根據權利要求14所述的蒸鍍掩膜的制造方法，其中，

以形成中心角為180°以上的圓弧地彎曲的方式，使對被剝離了的所述金屬層進行按壓的按壓輥沿著所述第1方向移動。

17.根據權利要求14所述的蒸鍍掩膜的制造方法，其中，

還包括對所述金屬層進行按壓的按壓輥。

18.根據權利要求16或17所述的蒸鍍掩膜的制造方法，其中，

根據所述金屬層，使所述旋轉輥與所述按壓輥的彼此的軸距變化。