[發明專利]一種用于模組測試的自動探針臺

在審

• 申請號: 202110340865.2
• 申請日: 2021-03-30
• 公開（公告）號: CN112992712A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 張哲遠
• 申請（專利權）人: 上海帆測科技發展有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677
• 代理公司: 上海大為知衛知識產權代理事務所(普通合伙) 31390
• 代理人: 何銀南

本發明提供了一種用于模組測試的自動探針臺，屬于晶圓測試領域，該自動探針臺包括支撐體、固定設置在支撐體上的控制單元以及受控制單元控制在支撐體上平移的送料機構和探針檢測裝置，探針檢測裝置的移動方向與送料機構的移動方向垂直；送料機構包括在支撐體上平移的檢測臺、固定設置在檢測臺上的定位夾具以及用于驅動檢測臺在支撐體上平移的第一平移機構；探針檢測裝置包括用于與模組接觸的探針、用于圖像采集的攝像頭、用于驅動探針和攝像頭在支撐體上平移的第二平移機構以及用于驅動探針和攝像頭在第二平移機構上縱向移動的第三平移機構。該自動探針臺可自動化完成通訊模組的檢測工作，效率高，適于通訊模組的批量化生產，降低檢測成本。

技術領域

本發明屬于晶圓測試技術領域，尤其涉及一種用于模組測試的自動探針臺。

背景技術

光通信模組組裝完成之后，需要對模組內的功能模塊化測試，以提前鑒別出不合格的模組，防止對不合格模組封蓋，提高生產效率。但目前市場上未有一款自動檢測模組測試裝置，在傳統檢測中，使用手工測試臺進行模組檢測，檢測效率低、人工成本高，很難滿足光通信模組的大批量生產。

發明內容

本發明實施例提供一種用于模組測試的自動探針臺，旨在解決背景技術中提出的問題。

本發明實施例是這樣實現的，一種用于模組測試的自動探針臺，該自動探針臺包括支撐體、固定設置在所述支撐體上的控制單元以及受所述控制單元控制在所述支撐體上平移的送料機構和探針檢測裝置，所述探針檢測裝置的移動方向與所述送料機構的移動方向垂直；

所述送料機構包括在所述支撐體上平移的檢測臺、固定設置在所述檢測臺上的定位夾具以及用于驅動所述檢測臺在所述支撐體上平移的第一平移機構；

所述探針檢測裝置包括用于與模組接觸的探針、用于圖像采集的攝像頭、用于驅動所述探針和所述攝像頭在所述支撐體上平移的第二平移機構以及用于驅動所述探針和所述攝像頭在所述第二平移機構上縱向移動的第三平移機構。

優選的，所述探針檢測裝置至少設置有一個。

優選的，所述第一平移機構包括固定設置在所述支撐體內部的第一移動架、滑動安裝在所述第一移動架上的第一滑塊、轉動安裝在所述第一移動架上用于驅動所述第一滑塊在所述第一移動架上移動的移動軸以及固定安裝在所述第一移動架的一端用于帶動所述移動軸旋轉的第一伺服電機，所述檢測臺固定設置在所述第一滑塊上。

優選的，所述第二平移機構包括固定設置在所述支撐體內部的第二移動架、滑動安裝在所述第二移動架上的第二滑塊、轉動安裝在所述第二移動架上用于驅動所述第二滑塊在所述第二移動架上移動的第二移動軸以及固定安裝在所述第二移動架的一端用于驅動所述第二移動軸旋轉的第二伺服電機，所述第二移動架垂直于所述第一移動架，所述第二伺服電機固定安裝在所述第二移動架遠離所述第一移動架的一端。

優選的，所述第三平移機構包括固定安裝在第二滑塊上的第三移動架、滑動安裝在所述第三移動架上的第三滑塊、轉動安裝在所述第三移動架上用于驅動所述第三滑塊在所述第三移動架上移動的第三移動軸以及固定安裝在所述第三移動架遠離所述第二移動架的一端用于驅動所述第三移動軸旋轉的第三伺服電機，所述探針和所述攝像頭安裝在所述第三滑塊上。

優選的，所述第一移動軸、第二移動軸和所述第三移動軸均為絲杠，所述第一移動軸、第二移動軸和所述第三移動軸分別貫穿于所述第一滑塊、第二滑塊和所述第三滑塊，且與分別與所述第一滑塊、第二滑塊和所述第三滑塊螺紋連接。

優選的，所述攝像頭至少設置有一個。

優選的，所述探針和所述攝像頭與所述第三滑塊之間分別設置有第一固定架和第二固定架，所述探針和所述攝像頭分別設置在所述第一固定架和所述第二固定架遠離所述第三滑塊的一端。

優選的，所述第二固定架上設置有用于將所述攝像頭鎖緊在所述第二固定架上的鎖緊機構。