[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110340865.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112992712A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張哲遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海帆測(cè)科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66;H01L21/677
• 代理公司: 上海大為知衛(wèi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31390
• 代理人: 何銀南

1.一種用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，包括支撐體(1)、固定設(shè)置在所述支撐體(1)上的控制單元(4)以及受所述控制單元(4)控制在所述支撐體(1)上平移的送料機(jī)構(gòu)(2)和探針檢測(cè)裝置(3)，所述探針檢測(cè)裝置(3)的移動(dòng)方向與所述送料機(jī)構(gòu)(2)的移動(dòng)方向垂直；

所述送料機(jī)構(gòu)(2)包括在所述支撐體(1)上平移的檢測(cè)臺(tái)(21)、固定設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)(21)上的定位夾具(22)以及用于驅(qū)動(dòng)所述檢測(cè)臺(tái)(21)在所述支撐體(1)上平移的第一平移機(jī)構(gòu)(23)；

所述探針檢測(cè)裝置(3)包括用于與模組接觸的探針(31)、用于圖像采集的攝像頭(32)、用于驅(qū)動(dòng)所述探針(31)和所述攝像頭(32)在所述支撐體(1)上平移的第二平移機(jī)構(gòu)(33)以及用于驅(qū)動(dòng)所述探針(31)和所述攝像頭(32)在所述第二平移機(jī)構(gòu)(33)上縱向移動(dòng)的第三平移機(jī)構(gòu)(34)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述探針檢測(cè)裝置(3)至少設(shè)置有一個(gè)。

3.如權(quán)利要求1所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述第一平移機(jī)構(gòu)(23)包括固定設(shè)置在所述支撐體(1)內(nèi)部的第一移動(dòng)架(231)、滑動(dòng)安裝在所述第一移動(dòng)架(231)上的第一滑塊(232)、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述第一移動(dòng)架(231)上用于驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊(232)在所述第一移動(dòng)架(231)上移動(dòng)的移動(dòng)軸(233)以及固定安裝在所述第一移動(dòng)架(231)的一端用于帶動(dòng)所述移動(dòng)軸(233)旋轉(zhuǎn)的第一伺服電機(jī)(234)，所述檢測(cè)臺(tái)(21)固定設(shè)置在所述第一滑塊(232)上。

4.如權(quán)利要求3所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述第二平移機(jī)構(gòu)(33)包括固定設(shè)置在所述支撐體(1)內(nèi)部的第二移動(dòng)架(331)、滑動(dòng)安裝在所述第二移動(dòng)架(331)上的第二滑塊(332)、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述第二移動(dòng)架(331)上用于驅(qū)動(dòng)所述第二滑塊(332)在所述第二移動(dòng)架(331)上移動(dòng)的第二移動(dòng)軸(333)以及固定安裝在所述第二移動(dòng)架(331)的一端用于驅(qū)動(dòng)所述第二移動(dòng)軸(333)旋轉(zhuǎn)的第二伺服電機(jī)(334)，所述第二移動(dòng)架(331)垂直于所述第一移動(dòng)架(231)，所述第二伺服電機(jī)(334)固定安裝在所述第二移動(dòng)架(331)遠(yuǎn)離所述第一移動(dòng)架(231)的一端。

5.如權(quán)利要求4所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述第三平移機(jī)構(gòu)(34)包括固定安裝在第二滑塊(332)上的第三移動(dòng)架(341)、滑動(dòng)安裝在所述第三移動(dòng)架(341)上的第三滑塊(342)、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述第三移動(dòng)架(341)上用于驅(qū)動(dòng)所述第三滑塊(342)在所述第三移動(dòng)架(341)上移動(dòng)的第三移動(dòng)軸(343)以及固定安裝在所述第三移動(dòng)架(341)遠(yuǎn)離所述第二移動(dòng)架(331)的一端用于驅(qū)動(dòng)所述第三移動(dòng)軸(343)旋轉(zhuǎn)的第三伺服電機(jī)(344)，所述探針(31)和所述攝像頭(32)安裝在所述第三滑塊(342)上。

6.如權(quán)利要求5所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述第一移動(dòng)軸(233)、第二移動(dòng)軸(333)和所述第三移動(dòng)軸(343)均為絲杠，所述第一移動(dòng)軸(233)、第二移動(dòng)軸(333)和所述第三移動(dòng)軸(343)分別貫穿于所述第一滑塊(232)、第二滑塊(332)和所述第三滑塊(342)，且與分別與所述第一滑塊(232)、第二滑塊(332)和所述第三滑塊(342)螺紋連接。

7.如權(quán)利要求5所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述攝像頭(32)至少設(shè)置有一個(gè)。

8.如權(quán)利要求7所述的用于模組測(cè)試的自動(dòng)探針臺(tái)，其特征在于，所述探針(31)和所述攝像頭(32)與所述第三滑塊(342)之間分別設(shè)置有第一固定架(35)和第二固定架(36)，所述探針(31)和所述攝像頭(32)分別設(shè)置在所述第一固定架(35)和所述第二固定架(36)遠(yuǎn)離所述第三滑塊(342)的一端。