[發明專利]一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法

有效

• 申請號: 202110338512.9
• 申請日: 2021-03-30
• 公開（公告）號: CN113049756B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 汪海燕
• 申請（專利權）人: 銅陵安德科銘電子材料科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京君泊知識產權代理有限公司 11496
• 代理人: 李丹

本發明涉及芯片與人工智能系統技術領域，尤其涉及一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法。本發明包括底板，所述底板上表面固定有檢測倉，所述底板上表面固定有移出裝置，所述移出裝置頂部固定有固定裝置，所述固定裝置內壁夾持有氣瓶，所述移出裝置一端固定有密封門，所述檢測倉頂部固定有頂架，所述頂架中部固定有切換裝置，所述檢測倉頂部一端固定有檢測管，所述檢測倉一側固定有抽真空接頭，所述檢測倉內壁頂部固定有放氣裝置。本發明在檢測時，氣體不泄露，在檢測完成后，通過真空泵抽出，防止氣體泄漏，可對四種不同的氣體進行分析，適應性較高，通過槽輪減速器可使四種氣體分析傳感器依次切換，且操作較為方便。

技術領域

本發明涉及芯片與人工智能系統技術領域，尤其涉及一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法。

背景技術

氣體工業名詞，半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級；

電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性；

在芯片制造中，對于微電子氣體的濃度和純度有著極大的要求，因此在使用微電子氣體之前，需要對微電子氣體進行分析；

而現有的微電子氣體分析系統在分析結束后，氣體容易泄露，造成環境的污染；

在使用時，不方便對不同的氣體進行分析，且操作不方便。

因此，有必要提供一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法解決上述技術問題。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明是提供一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法。

本發明提供的一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統，包括底板，所述底板上表面固定有檢測倉，所述底板上表面固定有移出裝置，所述移出裝置頂部固定有固定裝置，所述固定裝置內壁夾持有氣瓶，所述移出裝置一端固定有密封門，所述檢測倉頂部固定有頂架，所述頂架中部固定有切換裝置，所述檢測倉頂部一端固定有檢測管，所述檢測倉一側固定有抽真空接頭，所述檢測倉內壁頂部固定有放氣裝置；

所述切換裝置包括第一伺服電機、槽輪減速器、第一轉盤、固定筒、內螺紋套筒、第一螺紋桿、限位塊、限位槽、第二伺服電機、第一平齒輪、第一齒輪環、第二轉盤和氣體分析傳感器，所述頂架頂部固定有槽輪減速器，所述槽輪減速器頂部固定有第一伺服電機，所述第一伺服電機的輸出端與槽輪減速器的輸入端固定連接，所述槽輪減速器的輸出端穿過頂架固定有第一轉盤，所述第一轉盤下表面固定有固定筒，所述固定筒底部通過軸承轉動連接有內螺紋套筒，所述內螺紋套筒內壁螺紋連接有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿頂部對稱固定有限位塊，所述固定筒內壁對稱開設有限位槽，且限位塊與限位槽滑動連接，所述第一轉盤下表面固定有第二伺服電機，所述第二伺服電機的輸出端固定有第一平齒輪，所述內螺紋套筒外側固定有第一齒輪環，且第一平齒輪與第一齒輪環嚙合連接，所述第一螺紋桿底部固定有第二轉盤，所述第二轉盤外圓等距可拆卸固定有多種氣體分析傳感器，且氣體分析傳感器與檢測管插接；