[發(fā)明專利]一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統(tǒng)及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110338512.9 | 申請日： | 2021-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN113049756B | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪海燕 | 申請（專利權(quán)）人： | 銅陵安德科銘電子材料科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京君泊知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 芯片 智能 制造 微電子 氣體 分析 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統(tǒng)，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）上表面固定有檢測倉（2），所述底板（1）上表面固定有移出裝置（3），所述移出裝置（3）頂部固定有固定裝置（4），所述固定裝置（4）內(nèi)壁夾持有氣瓶（5），所述移出裝置（3）一端固定有密封門（6），所述檢測倉（2）頂部固定有頂架（9），所述頂架（9）中部固定有切換裝置（7），所述檢測倉（2）頂部一端固定有檢測管（10），所述檢測倉（2）一側(cè)固定有抽真空接頭（11），所述檢測倉（2）內(nèi)壁頂部固定有放氣裝置（8）；
所述切換裝置（7）包括第一伺服電機（71）、槽輪減速器（72）、第一轉(zhuǎn)盤（73）、固定筒（74）、內(nèi)螺紋套筒（75）、第一螺紋桿（76）、限位塊（77）、限位槽（78）、第二伺服電機（79）、第一平齒輪（710）、第一齒輪環(huán)（711）、第二轉(zhuǎn)盤（712）和氣體分析傳感器（713），所述頂架（9）頂部固定有槽輪減速器（72），所述槽輪減速器（72）頂部固定有第一伺服電機（71），所述第一伺服電機（71）的輸出端與槽輪減速器（72）的輸入端固定連接，所述槽輪減速器（72）的輸出端穿過頂架（9）固定有第一轉(zhuǎn)盤（73），所述第一轉(zhuǎn)盤（73）下表面固定有固定筒（74），所述固定筒（74）底部通過軸承轉(zhuǎn)動連接有內(nèi)螺紋套筒（75），所述內(nèi)螺紋套筒（75）內(nèi)壁螺紋連接有第一螺紋桿（76），所述第一螺紋桿（76）頂部對稱固定有限位塊（77），所述固定筒（74）內(nèi)壁對稱開設(shè)有限位槽（78），且限位塊（77）與限位槽（78）滑動連接，所述第一轉(zhuǎn)盤（73）下表面固定有第二伺服電機（79），所述第二伺服電機（79）的輸出端固定有第一平齒輪（710），所述內(nèi)螺紋套筒（75）外側(cè)固定有第一齒輪環(huán)（711），且第一平齒輪（710）與第一齒輪環(huán)（711）嚙合連接，所述第一螺紋桿（76）底部固定有第二轉(zhuǎn)盤（712），所述第二轉(zhuǎn)盤（712）外圓等距可拆卸固定有多種氣體分析傳感器（713），且氣體分析傳感器（713）與檢測管（10）插接；
所述移出裝置（3）包括第一固定板（31）、第二螺紋桿（32）、第三伺服電機（33）、滑塊（34）和滑板（35），所述底板（1）上表面對稱固定有第一固定板（31），兩個所述第一固定板（31）中部通過軸承轉(zhuǎn)動連接有第二螺紋桿（32），一個所述第一固定板（31）一側(cè)固定有第三伺服電機（33），且第三伺服電機（33）的輸出端與第二螺紋桿（32）固定連接，所述底板（1）上表面滑動連接有滑塊（34），所述滑塊（34）中部開設(shè)有螺紋孔，且滑塊（34）通過螺紋孔與第二螺紋桿（32）螺紋連接，所述滑塊（34）頂部固定有滑板（35），且密封門（6）與滑板（35）固定連接；
所述固定裝置（4）包括夾持筒（41）、隔板（42）、凹槽（43）、T形滑槽（44）、第一轉(zhuǎn)軸（45）、第三轉(zhuǎn)盤（46）、斜槽（47）、夾持塊（48）、T形塊（49）和撥桿（410），所述滑板（35）上表面固定有夾持筒（41），所述夾持筒（41）內(nèi)壁下端固定有隔板（42），所述夾持筒（41）內(nèi)壁等距開設(shè)有凹槽（43），所述隔板（42）表面等距開設(shè)有T形滑槽（44），且T形滑槽（44）與凹槽（43）連通，所述隔板（42）下表面中部通過軸承轉(zhuǎn)動連接有第一轉(zhuǎn)軸（45），所述第一轉(zhuǎn)軸（45）中部固定有第三轉(zhuǎn)盤（46），所述第三轉(zhuǎn)盤（46）外側(cè)等距開設(shè)有斜槽（47），所述凹槽（43）內(nèi)壁滑動連接有夾持塊（48），所述夾持塊（48）底部固定有T形塊（49），且T形塊（49）與T形滑槽（44）滑動連接，所述T形塊（49）底部固定有撥桿（410），且撥桿（410）與斜槽（47）滑動連接。
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