[發明專利]一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統及方法

有效

• 申請號: 202110338512.9
• 申請日: 2021-03-30
• 公開（公告）號: CN113049756B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 汪海燕
• 申請（專利權）人: 銅陵安德科銘電子材料科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京君泊知識產權代理有限公司 11496
• 代理人: 李丹

1.一種基于芯片與智能制造的微電子氣體分析系統，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）上表面固定有檢測倉（2），所述底板（1）上表面固定有移出裝置（3），所述移出裝置（3）頂部固定有固定裝置（4），所述固定裝置（4）內壁夾持有氣瓶（5），所述移出裝置（3）一端固定有密封門（6），所述檢測倉（2）頂部固定有頂架（9），所述頂架（9）中部固定有切換裝置（7），所述檢測倉（2）頂部一端固定有檢測管（10），所述檢測倉（2）一側固定有抽真空接頭（11），所述檢測倉（2）內壁頂部固定有放氣裝置（8）；

所述切換裝置（7）包括第一伺服電機（71）、槽輪減速器（72）、第一轉盤（73）、固定筒（74）、內螺紋套筒（75）、第一螺紋桿（76）、限位塊（77）、限位槽（78）、第二伺服電機（79）、第一平齒輪（710）、第一齒輪環（711）、第二轉盤（712）和氣體分析傳感器（713），所述頂架（9）頂部固定有槽輪減速器（72），所述槽輪減速器（72）頂部固定有第一伺服電機（71），所述第一伺服電機（71）的輸出端與槽輪減速器（72）的輸入端固定連接，所述槽輪減速器（72）的輸出端穿過頂架（9）固定有第一轉盤（73），所述第一轉盤（73）下表面固定有固定筒（74），所述固定筒（74）底部通過軸承轉動連接有內螺紋套筒（75），所述內螺紋套筒（75）內壁螺紋連接有第一螺紋桿（76），所述第一螺紋桿（76）頂部對稱固定有限位塊（77），所述固定筒（74）內壁對稱開設有限位槽（78），且限位塊（77）與限位槽（78）滑動連接，所述第一轉盤（73）下表面固定有第二伺服電機（79），所述第二伺服電機（79）的輸出端固定有第一平齒輪（710），所述內螺紋套筒（75）外側固定有第一齒輪環（711），且第一平齒輪（710）與第一齒輪環（711）嚙合連接，所述第一螺紋桿（76）底部固定有第二轉盤（712），所述第二轉盤（712）外圓等距可拆卸固定有多種氣體分析傳感器（713），且氣體分析傳感器（713）與檢測管（10）插接；

所述移出裝置（3）包括第一固定板（31）、第二螺紋桿（32）、第三伺服電機（33）、滑塊（34）和滑板（35），所述底板（1）上表面對稱固定有第一固定板（31），兩個所述第一固定板（31）中部通過軸承轉動連接有第二螺紋桿（32），一個所述第一固定板（31）一側固定有第三伺服電機（33），且第三伺服電機（33）的輸出端與第二螺紋桿（32）固定連接，所述底板（1）上表面滑動連接有滑塊（34），所述滑塊（34）中部開設有螺紋孔，且滑塊（34）通過螺紋孔與第二螺紋桿（32）螺紋連接，所述滑塊（34）頂部固定有滑板（35），且密封門（6）與滑板（35）固定連接；

所述固定裝置（4）包括夾持筒（41）、隔板（42）、凹槽（43）、T形滑槽（44）、第一轉軸（45）、第三轉盤（46）、斜槽（47）、夾持塊（48）、T形塊（49）和撥桿（410），所述滑板（35）上表面固定有夾持筒（41），所述夾持筒（41）內壁下端固定有隔板（42），所述夾持筒（41）內壁等距開設有凹槽（43），所述隔板（42）表面等距開設有T形滑槽（44），且T形滑槽（44）與凹槽（43）連通，所述隔板（42）下表面中部通過軸承轉動連接有第一轉軸（45），所述第一轉軸（45）中部固定有第三轉盤（46），所述第三轉盤（46）外側等距開設有斜槽（47），所述凹槽（43）內壁滑動連接有夾持塊（48），所述夾持塊（48）底部固定有T形塊（49），且T形塊（49）與T形滑槽（44）滑動連接，所述T形塊（49）底部固定有撥桿（410），且撥桿（410）與斜槽（47）滑動連接。